當前位置：北京億百萬電子有限公司>>化工實驗設備>> HG07-DP系列射頻CCP薄膜沉積
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號HG07-DP系列
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
聯(lián)系方式：蔣工查看聯(lián)系方式
更新時間：2025-09-11 09:02:52瀏覽次數(shù)：395次
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產(chǎn)品名稱：射頻CCP薄膜沉積
產(chǎn)品型號: HG07-DP系列
產(chǎn)品編號: 28308
射頻CCP薄膜沉積 的詳細介紹
適合大學物理、材料、化學等領域的學生實驗及教師科學研究。
設備規(guī)格配置：
| 1 | 2 | 3 | ||
沉積室 | 玻璃真空室 | 不銹鋼真空室 | |||
射頻功率源 | 13.56MHz，功率:500W |
| |||
射頻耦合方式 | Φ60mm單圈環(huán)形電感 | ||||
真空系統(tǒng) | 機械泵 | 機械泵+擴散泵 | 機械泵+分子泵 | ||
極限真空 | 6.7×10-1Pa | 5×10 -4Pa | 8×10-5Pa | ||
恢復真空 | 2Pa | 5×10-3Pa | 8×10-4Pa | ||
進氣系統(tǒng) | 三路轉(zhuǎn)子流量計或三路質(zhì)量流量計 | ||||
襯底溫度 | 室溫至300℃可調(diào)可控； | ||||
真空測量 | 數(shù)顯電阻真空計 | 數(shù)顯復合真空計 | 數(shù)顯復合真空計 | ||
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