氦質(zhì)譜檢漏法是根據(jù)質(zhì)譜分析的原理，以氦作探索氣體，對(duì)各種需密封的容器的漏隙進(jìn)行快速定位和定量檢測(cè)的理想的方法。因氦是隋性氣體，對(duì)大氣無污染，使用安全；氦原子量小、粘度小，易滲透過任何可能存在的漏率，檢測(cè)靈敏度高、速度快、適用范圍廣；加之氦在大氣中含量少（僅萬分之五），離子質(zhì)量與其它氣體離子質(zhì)量相差很大，不易受干擾，不會(huì)錯(cuò)判。與當(dāng)今諸多檢漏方法（如氣泡法、鹵素檢漏法等）相比，它是*。性能指標(biāo)：
氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)比
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型 號(hào) 小可檢漏率Pa.m3/s
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HG94-ZQLS-23B 2·10-11
HG94-ZQLS-24B 2·10-11
HG94-ZQLS-24C 2·10-11
HG94-ZQLS-26D/T 5·10-12
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型 號(hào) 反應(yīng)（清除）時(shí)間 s
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HG94-ZQLS-23B ＜3
HG94-ZQLS-24B ＜3
HG94-ZQLS-24C ＜3
HG94-ZQLS-26D/T ＜3
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型 號(hào) 讀數(shù)方式
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HG94-ZQLS-23B 表頭（mV）
HG94-ZQLS-24B 表頭和數(shù)字（量程自動(dòng)切換）
HG94-ZQLS-24C 表頭和數(shù)字（量程自動(dòng)切換）
HG94-ZQLS-26D/T 數(shù)字直讀
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型 號(hào) 特 點(diǎn)
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HG94-ZQLS-23B 單主機(jī)，帶標(biāo)準(zhǔn)漏空
HG94-ZQLS-24B 帶一套粗抽系統(tǒng)（泵2XZ-4B），配有一只校準(zhǔn)漏孔
HG94-ZQLS-24C 帶二套粗抽系統(tǒng)，適用于批量檢漏，配有一只校準(zhǔn)漏孔
HG94-ZQLS-26D/T 渦輪分子泵（德國(guó)萊寶50型）前級(jí)泵
（日本GLD030）粗抽泵（英國(guó)
EDWARDERV12），配有一只校準(zhǔn)漏孔
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