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更新時(shí)間：2022-04-25 15:24:42瀏覽次數(shù)：232次
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根據(jù)使用需求，選型定做 為你提供更適合更的陰極及靶材...
美國(guó)Angstrom Sciences公司 濺射陰極及靶材
美國(guó)安斯超科學(xué)公司(Angstrom Sciences，Inc)成立于1988年,，是一家
專業(yè)從事物理氣相沉積磁控濺射陰極及濺射靶材的高科技專業(yè)公司，專利
的磁場(chǎng)設(shè)計(jì)和*的水冷技術(shù)使其產(chǎn)品倍受歡迎。安斯超公司對(duì)磁控濺射
靶陰極的磁體外形和冷卻循環(huán)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了科學(xué)合理地優(yōu)化設(shè)計(jì)，并且選取
更強(qiáng)的磁體（比稀土磁體強(qiáng)30％），從而使安斯超的靶陰極比常規(guī)的靶陰
有更為的性能。
核心技術(shù)及特點(diǎn)：
特殊設(shè)計(jì)的磁體結(jié)構(gòu)，使得磁場(chǎng)線跨度范圍更寬，從而提高靶材的利用率和膜層的均勻性湍流冷卻技術(shù)，使得水流能夠更平緩的進(jìn)入陰極，從而提高冷卻效果
特殊設(shè)計(jì)的耙材固定結(jié)構(gòu)，使得耙材更換起來更簡(jiǎn)單，降低停工期的磁體材料 NdFeB，他的強(qiáng)度比其他的稀土磁體要強(qiáng)30%
*的靶材利用率，可以達(dá)到50%，從而降低靶材成本的產(chǎn)品均勻性，可以達(dá)到±3%
可以在更低的真空以及更高的功率下運(yùn)行：壓力可以達(dá)到10-4TOR直接水冷結(jié)構(gòu)可以提高其功率密度達(dá)到250Watt s/in2
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