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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市利方達(dá)科技有限公司


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IC6 薄膜沉積控制器

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產(chǎn)品型號(hào)IC6

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：魏登奎查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-04-25 16:48:59瀏覽次數(shù)：213次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：48條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：魏登奎 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

功能豐富的 IC6 提供提供測(cè)量精度...

詳細(xì)介紹

功能

  • INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得、的速率和厚度測(cè)量分辨率，即使在速率極低的情況下
  • Auto Z 技術(shù)通過自動(dòng)測(cè)定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測(cè)量的精度
  • 支持最多六個(gè)來源同時(shí)共沉積
  • 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進(jìn)展?fàn)顩r
  • 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
  • USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄
  • *的 I/O 憑借其靈活性可融入簡單或復(fù)雜的系統(tǒng)（使用可擴(kuò)展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器，14 TTL 輸出)，并充分利用邏輯功能（100 個(gè)邏輯語句）
  • 6 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控
  • 可容納最多 50 個(gè)過程，每個(gè)過程 200 層，這些過程關(guān)聯(lián)到一起，總共可容納 10,000 層。
  • 多路傳感器可平均分配為 8 個(gè)傳感器
  • 4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長的真空傳感器電纜
  • 可選以太網(wǎng)通信
  • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

  • 光學(xué)鍍膜

規(guī)格

類型IC6
測(cè)量性能 
分辨率 (1)
0.00433 Å/s/M
晶體頻率偏移
1.5 MHz
晶體范圍和精確性（來自 100-ms 樣品）
6.0 to 4.5 MHz +/- 0.0035 Hz
厚度精度 (2)
0.5%
測(cè)量頻率
10 Hz
多個(gè)測(cè)量值平均
0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
設(shè)計(jì)功能 
Auto Z
yes
自動(dòng)色調(diào)
yes
共沉積
yes (up to 6 sources)
過程配方和數(shù)據(jù)管理 
材料計(jì)劃
32
過程層（每個(gè)過程）
200
過程
50 (processes can be linked together)
USB 存儲(chǔ)器
yes
數(shù)據(jù)記錄
yes
硬件功能 
傳感器 (3) 
單
8
雙 / CrystalTwo®
4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix®
8
Crystal 12®
8
通用
8
來源控制 
來源數(shù)量 (4)
up to 6
來源控制電壓
0 to +/-10 V, adjustable
輸出分辨率
15 bits over full range (0 to 10V)
坩堝位置
64
輸入 / 輸出 
輸入
14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
輸出
8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
記錄器輸出 (4)
0 to +10 V, adjustable
邏輯語句
100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
通信 
標(biāo)準(zhǔn)
RS232
可選
Ethernet
顯示器 
厚度分辨率

1 Å for 0 to 9.999 kÅ

10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ

100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ

1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ
速率分辨率

0.001 for 0 to 9.999 Å/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater

0.01 for 0 to 99.99 Å/s

0.1 for 100 to 999.9 Å/s
操作 
電源要求

100 – 230 V (ac) +/- 15%

50 / 60 Hz +/- 3 Hz
工作溫度
0 to 50 C (32 to 122 F)
尺寸，不包括安裝件（高 x 寬 x 深）
5.25" x 19" x 13" (133mm x 483mm x 330 mm)
重量
23 lbs (10.5 kg)

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