帶真空過(guò)濾器及消音器，還有帶真空計(jì)或真空壓力開(kāi)關(guān)、供給閥、破壞閥的形式。噴嘴直徑為1.2mm。當(dāng)供給壓力為0.4MPa時(shí)，極限真空度為84kPa，大吸入流量為100/min（ANR）。新型ZL212系列的3段接收管由上下兩個(gè)重疊成一體，大吸入流量可達(dá)200/min（ANR）。

SMC真空組件有四個(gè)系列：ZM、ZX、ZR、ZL。

SMC ZM系列真空組件采用一體化結(jié)構(gòu)，故結(jié)構(gòu)緊湊、?。ê穸葍H為15.5mm）、輕（多組合400g）。因配管、配線、指示及調(diào)整旋鈕等全裝在側(cè)面，故可以多個(gè)組件集裝在一起，便于維護(hù)。因?yàn)榘烧婵瞻l(fā)生器的接收管設(shè)計(jì)成前后兩個(gè)抽吸口，除保證大真空度達(dá)84kPa外，大吸入流量可增大40%。SMC ZM系列真空組件多可集裝10個(gè)。供氣口有單獨(dú)供氣和集中供氣兩種，排氣口為集中排氣式。

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