上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
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所 在 地上海
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更新時間：2026-06-02 12:27:33瀏覽次數(shù)：247次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)MEB 550SL3超高真空多腔體電子束蒸鍍系統(tǒng)
關(guān)鍵詞：磁控濺射、電子束蒸鍍、超高真空、鍍膜、約瑟夫森結(jié)、超導、量子器件、量子比特、
多腔體、Qubit、UHV、鈮基超導、氮化鈮、鈦氮化鈮、NbTiN、NbN、sputtering system
Evaporation system、Nb-based superconductor、超導鋁結(jié)、Josephson junction
型號：MEB 550SL3 產(chǎn)地：歐洲 應用：約瑟夫森結(jié)（Al, Nb, NbN, NbTiN）
超高真空多腔體電子束蒸發(fā)鍍膜儀
電子束蒸鍍儀是納米器件制備中的儀器，用于蒸鍍各種高純金屬薄膜，如Ti, Au, Ni, Cr, Al, Al2O3等。電子束蒸發(fā)沉積法可在同一蒸發(fā)沉積裝置中安裝多個坩堝，使得可以蒸發(fā)和沉積多種不同的高質(zhì)量金屬薄膜。開展量子計算機實驗研究，如基于金剛石NV色心，離子阱，超導量子結(jié)，量子點電子自旋的研究，均需要蒸鍍各種高質(zhì)量金屬薄膜來制備量子器件，特別是在利用超導量子結(jié)來實現(xiàn)量子計算的實驗研究中，Josephson結(jié)的制備關(guān)鍵：需要在非常干凈的蒸鍍腔里進行，而且需要在不同的角度上蒸鍍兩次，兩次之間需要注入氧氣進行金屬氧化。所以樣品臺必須具有三維的旋轉(zhuǎn)功能，同時，蒸鍍腔內(nèi)還需要有可以注射氧氣及其他氣體來實現(xiàn)清潔和氧化過程。
推薦配置：可以用于沉積Ti, Ni, Au, Cr, Al, Al2O3等金屬及氧化物薄膜，目前主要超導量子實驗室均使用該設備制備超導Al結(jié)（量子比特和約瑟夫森結(jié)）和量子器件，可以制備大面積、高度穩(wěn)定性和可重復性超導結(jié)。更詳細信息或資料，請咨詢我們！
典型用戶：耶魯大學、日本NTT、中科院下屬研究所等
歡迎進一步咨詢！
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