上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
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更新時(shí)間：2026-06-02 12:30:02瀏覽次數(shù)：401次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 儀表網(wǎng)關(guān)鍵詞：電子束蒸鍍、熱蒸鍍、離子束輔助沉積、高真空鍍膜設(shè)備、光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)、OMS、金屬膜、氧化膜、IBAD、IBD、光學(xué)薄膜、紫外、紅外膜、增透膜、增反膜、二氧化硅/鋁復(fù)合膜熱蒸發(fā)源：多個(gè)電子束蒸發(fā)源：多坩堝高真空系統(tǒng)：低溫泵+干泵
關(guān)鍵詞：電子束蒸鍍、熱蒸鍍、離子束輔助沉積、高真空鍍膜設(shè)備、光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)、OMS、 金屬膜、
氧化膜、IBAD、IBD、光學(xué)薄膜、紫外、紅外膜、增透膜、增反膜、二氧化硅/鋁復(fù)合膜
熱蒸發(fā)源：多個(gè)
電子束蒸發(fā)源：多坩堝
高真空系統(tǒng)：低溫泵+干泵，真空度＜10-7 Torr
樣品臺：可接納4個(gè)6英寸襯底
膜厚檢測系統(tǒng)：多個(gè)晶振檢測探頭
沉積速率分辨率：0.01A/s
離子束輔助沉積
光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)：多個(gè)探頭、多波段。
監(jiān)控范圍：220nm-2200nm
高精度鍍膜
電腦控制：全自動軟件
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