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超快氣體閥(100Bar)

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常規(guī)的氣體閥門開/關(guān)時間數(shù)毫秒（ms），而超快氣體閥開/關(guān)時間分別有一個案例說明：以前LBNL用其他供應(yīng)商的氣體閥（真空腔室用11000L/s的分子泵抽氣），重復(fù)頻率僅僅能夠達到0.1Hz

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常規(guī)的氣體閥門開/關(guān)時間數(shù)毫秒（ms），而超快氣體閥開/關(guān)時間分別<100us / <500us，用戶包括美國勞倫斯伯克利實驗室（LBNL）、美國羅徹斯特大學（LLE）、美國國防部（DoD）、法國武器裝備總局(DGA)等單位。

有一個案例說明：以前LBNL用其他供應(yīng)商的氣體閥（真空腔室用11000 L/s的分子泵抽氣），重復(fù)頻率僅僅能夠達到0.1Hz；后來LBNL采用這個超快氣體閥，重頻很容易達到1Hz（用超快閥門之后，真空度起落較小，閥開關(guān)引起真空度從2E-7到2E-5 torr，而用常規(guī)閥真空度要降到E-3 Torr）；不過這款氣體閥通常用在氣壓70Bar-100Bar的實驗。

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