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多腔體磁控濺射團(tuán)簇系統(tǒng)（用于金屬和氧化物）

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更新時(shí)間：2026-06-02 13:49:19瀏覽次數(shù)：177次

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多腔體磁控濺射團(tuán)簇系統(tǒng)（用于金屬和氧化物）

詳細(xì)介紹

關(guān)鍵詞：磁控濺射、超高真空、金屬膜、氧化膜、約瑟夫森結(jié)、超導(dǎo)、量子器件、量子比特、

              多腔體、Qubit、UHV、鈮基超導(dǎo)、氮化鈮、鈦氮化鈮、NbTiN、NbN、sputtering system

 

              Nb-based superconductor、超導(dǎo)鋁結(jié)、Josephson junction

 

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