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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司


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多陰極磁控濺射鍍膜儀 (confocal sputtering system)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

聯(lián)系方式：肖先生查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-06-02 14:01:06瀏覽次數(shù)：366次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：99條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：肖先生 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

關(guān)鍵詞：金屬薄膜，氮化鋁、壓電薄膜、AlN、Si3N4薄膜、MEMSTiN薄膜，抗腐蝕硬質(zhì)膜，半導(dǎo)體薄膜，氧化物絕緣層型號：MP450S，產(chǎn)地：歐洲，應(yīng)用：沉積硬質(zhì)膜，半導(dǎo)體膜，氧化物絕緣層等

詳細介紹

關(guān)鍵詞：金屬薄膜，氮化鋁、壓電薄膜、AlN、Si3N4薄膜、MEMS

              TiN薄膜，抗腐蝕硬質(zhì)膜，半導(dǎo)體薄膜，氧化物絕緣層

 

型號：MP450S，  產(chǎn)地：歐洲 ， 應(yīng)用：沉積硬質(zhì)膜，半導(dǎo)體膜，氧化物絕緣層等。

 

反應(yīng)磁控濺射鍍膜儀是微米納米器件制備的設(shè)備，可用于制備普通金屬薄膜，氮化鋁(AlN)壓電薄膜，Si3N4薄膜，TiN薄膜，抗腐蝕硬質(zhì)膜，半導(dǎo)體薄膜，氧化物絕緣層等，適用于半導(dǎo)體，光電子學(xué)，光子學(xué)，微機電系統(tǒng)（MEMS）和微流體技術(shù)等領(lǐng)域。

MP450S 配置 如下：

腔體尺寸：內(nèi)徑450mm、高度400mm，電解拋光不銹鋼腔體

真空系統(tǒng)：采用1000l/s分子泵（可選擇低溫泵）+30m3/h機械泵

                  配備薄膜真空計、潘寧真空計

 

磁控陰極：2個3英寸DC/RF磁控陰極，可傾斜35°

                  與樣品臺的距離手動可調(diào)（8-13cm）

                  每個陰極配備一個 圓柱形擋板，防止污染

                  每個陰極配備一個電氣閥

陰極電源：一個500W,800V，0.9A， 13.56MHz射頻電源（可以升級到2kW）

                 允許共濺射或順序濺射

反應(yīng)氣路：3條氣路（Ar、N2,、O2），每個氣路配備MFC

 
襯底尺寸：可加載6英寸襯底
                    
                  襯底可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可達10rpm
 
                   采用電阻加熱可達300℃(更高溫度可選)
 
 
 
刻蝕及偏壓：300W 頻率12.56MHz射頻源
                     射頻陰極電源用于提供樣品臺偏壓
                     射頻與旋轉(zhuǎn)和加熱機構(gòu)兼容
 

Load Lock（可選）：采用Al合金腔體，手動樣品傳動臂。

                                   采用主腔體粗抽泵抽真空

                                   配帶皮拉尼真空計

控制系統(tǒng)：全自動控制，半自動和手動模式可用

        支持多級用戶權(quán)限設(shè)置和管理
 
        支持設(shè)備遠程操作、監(jiān)控、診斷和維護
       
        系統(tǒng)自動報警及定位故障

 

若對我們的設(shè)備感興趣，歡迎聯(lián)系我們！

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng)

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