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行業(yè)產(chǎn)品

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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司


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金屬薄膜制備專用熱蒸鍍鍍膜系統(tǒng)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

聯(lián)系方式：肖先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-06-02 14:05:46瀏覽次數(shù)：226次

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經(jīng)營(yíng)模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：99條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：肖先生 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào)：MEB450S

詳細(xì)介紹

型號(hào)：MEB450S，   產(chǎn)地：歐洲，  應(yīng)用：沉積金屬薄膜

 

蒸鍍腔體：高600mm、寬450mm、深450mm

熱蒸鍍?cè)矗?個(gè)熱蒸鍍?cè)?/span>

 

樣品臺(tái)： 可加載4×60mm襯底

襯底旋轉(zhuǎn)：10 rpm

襯底加熱：熱阻絲加熱可達(dá)300℃

                  采用熱電偶控溫

 

厚度控制：采用 石英晶振膜厚控制儀

 

襯底清洗及刻蝕：

                 配備直流離子槍

                 Ar、N2氣路用于反應(yīng)離子束刻蝕

                 刻蝕不均勻性±4% @ 60mm晶圓

                 離子槍到襯底距離為300mm

              

控制系統(tǒng)：全自動(dòng)控制，半自動(dòng)和手動(dòng)模式可用

        支持多級(jí)用戶權(quán)限設(shè)置和管理
 
        支持設(shè)備遠(yuǎn)程操作、監(jiān)控、診斷和維護(hù)
       
        系統(tǒng)自動(dòng)報(bào)警及定位故障

 

 

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關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng)

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