上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
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所 在 地上海
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更新時間：2026-06-02 14:07:52瀏覽次數(shù)：357次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)關(guān)鍵詞：熱障層、紅外波導(dǎo)、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路用于金屬薄膜沉積、金屬化6個坩堝分別為：Pd
關(guān)鍵詞：熱障層、紅外波導(dǎo)、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、
歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路
用于金屬薄膜沉積、金屬化
6個坩堝分別為：Pd, NiCr, Au, Ge, Ti, Ni
襯底大小為3英寸
主腔體采用擴散泵，LOAD LOCK采用分子泵
采用10kW電子束蒸發(fā)源
配備等離子體清洗襯底
全自動電腦控制、半自動和手動模式可用
支持遠程維護和操作
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