上海續(xù)波光電技術有限公司
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所 在 地上海
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更新時間：2026-06-02 14:15:05瀏覽次數：412次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網關鍵詞：SiO2、AlN、Al2O3、介電膜、刻蝕、電子槍、離子槍、氧化鋁、氮化鋁、二氧化硅型號：MEB400S
關鍵詞：SiO2、AlN、Al2O3、介電膜、刻蝕、電子槍、
離子槍、氧化鋁、氮化鋁、二氧化硅
型號： MEB400S， 產地：歐洲 應用：沉積介電薄膜（SiO2, AlN, Al2O3等）
用于介電質膜層沉積，例如SiO2，Si3N4，Al2O3
樣品臺雙行星轉動，可加載4英寸襯底
配備Load Lock和主腔體
真空系統(tǒng)：采用低溫泵/分子泵+干泵
10kW電子束源，多槍
樣品臺可加熱
配備離子槍，可對樣品進行清理和刻蝕
配備氬氣、氮氣氣路和MFC
全自動電腦控制系統(tǒng)，半自動和手動可用
支持遠程維護、操作、監(jiān)控
典型用戶：格拉斯哥大學
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