上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)MP700S
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地上海市
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更新時(shí)間：2026-06-02 11:37:42瀏覽次數(shù)：784次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 儀表網(wǎng)本磁控濺射鍍膜系統(tǒng)可以沉積各種金屬、半導(dǎo)體、非金屬薄膜，又特別適合用于超導(dǎo)量子結(jié)、約瑟夫森結(jié)等量子器件的制備，例如：超導(dǎo)Nb、NbN、NbTiN等，典型用戶包括：格拉斯哥大學(xué)、法國(guó)波爾多*大學(xué)、法國(guó)科學(xué)研究中心（CNRS）、CEA、加拿大滑鐵盧大學(xué)等。歡迎索取詳細(xì)資料！
關(guān)鍵詞：PVD，物理氣相沉積，磁控濺射，微機(jī)電系統(tǒng)，MEMS, 量子器件，約瑟夫森結(jié)，Nb, NbN, NbTiN
磁控濺射鍍膜系統(tǒng)——用于超導(dǎo)體（Nb, NbN, NbTiN ）
圓柱形主腔體：電拋光不銹鋼
低溫泵+干泵，真空度< 4×10 -8 Torr。
三個(gè)6’’ DC磁控靶源，zui大可達(dá)8英寸；
分別配備獨(dú)立擋板，無(wú)交叉污染。
RF加載到DC靶源可選，可用DC/RF。
氬氣和氮?dú)鈿饴房捎?/span>
4’’襯底加熱：zui高750℃, 均勻性5℃內(nèi)；單色光學(xué)高溫計(jì)
樣品臺(tái)冷卻：水冷
石英晶振監(jiān)測(cè)（DC/RF模式下均可）
襯底R(shí)F刻蝕及偏壓（13.56MHz，氣冷）
LOAD LOCK （帶自動(dòng)傳動(dòng)手臂）
分子泵+干泵，真空度< 2×10-7 Torr
全自動(dòng)傳動(dòng)襯底
控制單元：全自動(dòng)電腦控制，半自動(dòng)和手動(dòng)模式可選；遠(yuǎn)程維護(hù)可用。
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