上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號MU400
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地國外
聯(lián)系方式：肖先生查看聯(lián)系方式
更新時間：2026-06-02 11:43:39瀏覽次數(shù)：673次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)該設(shè)備用于薄膜處理，性能，代表性用戶如：法國科學(xué)研究中心（CNRS）、意法半導(dǎo)體（ST）
系統(tǒng)簡單配置如下：
Load lock
真空系統(tǒng): 機械泵Oil pump/Dry pump + 渦輪分子泵/低溫泵/電磁泵
離子槍: DC / RF
均勻性：100 mm襯底 +/- 4%, 刻蝕速率降低均勻性優(yōu)于+/-2%
襯底尺寸：4英寸襯底（4-12英寸可選），水冷。
終端檢測系統(tǒng)：SIMS 或激光干涉儀。
控制方式：全自動電腦控制，半自動或手動控制可選。
詳細(xì)信息和資料，請！
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