微波等離子CVD金剛石單晶生長(zhǎng)系統(tǒng)
150 面議上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)SSDR150
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)代理商
所 在 地國(guó)外
聯(lián)系方式：肖先生查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2026-06-02 11:50:40瀏覽次數(shù)：1263次
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品特點(diǎn)概述
適用范圍：生長(zhǎng)大面積金剛石薄膜(4-10英寸，甚至更大)
生長(zhǎng)速度：可高達(dá)幾?m-幾十?m/h，甚至更高；
生長(zhǎng)范圍：可在直徑100mm范圍內(nèi)生長(zhǎng)、或者在直徑300mm范圍內(nèi)生長(zhǎng)。
研究及小規(guī)模生產(chǎn)型：
微波功率：2.45GHz，6KW, 脈沖模式可選 （提高沉積速度和質(zhì)量）；
樣品臺(tái)：直徑75-100mm,旋轉(zhuǎn)襯底可選（提高大面積均勻性）;
真空系統(tǒng)：oil pump/dry pump，TMP可選（營(yíng)造高真空基準(zhǔn)）；
控制方式：半自動(dòng)或全自動(dòng)（操作靈活）；
生長(zhǎng)速率：高達(dá)30μm/h.
整體特點(diǎn)：專(zhuān)門(mén)生長(zhǎng)大面積熱沉級(jí)、光學(xué)級(jí)多晶薄膜配置，適合于研發(fā)、小規(guī)模生產(chǎn)。
大面積光學(xué)級(jí)金剛石厚膜生產(chǎn)研究型：
微波功率：915MHz，30KW；
水冷襯底：直徑250mm或更大; 襯底加熱和襯底旋轉(zhuǎn)可選.
4個(gè)4英寸襯底, 加熱和旋轉(zhuǎn)襯底可選
真空系統(tǒng)：oil pump / dry pump+TMP（營(yíng)造高真空基準(zhǔn)）；
控制系統(tǒng)：全自動(dòng)控制（適合大批量生產(chǎn)）；
生長(zhǎng)速率：高達(dá)30μm/h, 或更高速率
整體特點(diǎn)：專(zhuān)門(mén)大面積金剛石薄膜研究及生產(chǎn)配置；可獲得4-10英寸光學(xué)級(jí)金剛石厚膜，也可以用于研究合成曲面自支撐金剛石厚膜，請(qǐng)?jiān)敿?xì)咨詢(xún)！
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