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紅外加熱燈管是快速退火爐RTP系列配件，使用鹵素循環(huán)設(shè)計，響應(yīng)時間短?？梢耘浜蠌?fù)雜的加熱編程，達(dá)到精準(zhǔn)可控的紅外能量輸出，滿足半導(dǎo)體工業(yè)對精確溫度與加熱區(qū)域的嚴(yán)...
石英樣品托架是快速退火爐RTP系列配件，采用高純度石英砂（99.95%）精密制造，高溫環(huán)境下仍可保持穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)。用于承載石墨托盤，也可以直接承載晶圓。適用于...
TC-wafer校準(zhǔn)儀是一款應(yīng)用于晶圓溫場均勻性實時測量校準(zhǔn)的儀器設(shè)備,并能生成報告。
碳化硅石墨托盤是快速退火爐RTP系列配件，采用進(jìn)口等靜壓石墨精密制造，可有效提高設(shè)備的溫度均勻性（以嘉儀通RTP-3-08為例，溫度均勻性可以從1.5%提升到1...
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