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RTP-3-08系列自立式8吋快速退火爐采用紅外輻射加熱技術,可實現大尺寸樣品(8英寸)快速升溫和降溫,可用于快速熱處理(RTP)、快速熱退火(RTA)、快速熱...
RTP-3-06系列自立式6吋快速退火爐采用紅外輻射加熱技術,可實現大尺寸樣品(6英寸)快速升溫和降溫,可用于快速熱處理(RTP)、快速熱退火(RTA)、快速熱...
快速退火爐RTP-3-04系列采用紅外輻射加熱技術,可實現大尺寸樣品(4英寸樣品)快速升溫和降溫,同時搭配超高精度溫度控制系統(tǒng),可達到的溫場均勻性,對材料的快速...
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