快速退火爐LRTP-1200，采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實現(xiàn)大尺寸樣品（4英寸）快速升溫和降溫，同時搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)，可達到的溫場均勻性，對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。

Joule Yacht 快速退火爐 LRTP 應(yīng)用案例

快速熱處理，快速退火，快速熱氧化，快速熱氮化

離子注入/接觸退火

SiAu, SiAl, SiMo合金化

太陽能電池片鍵合

電阻燒結(jié)

低介電材料熱處理

晶體化，致密化

其他熱工藝需求

Joule Yacht 快速退火爐 LRTP 產(chǎn)品特點

可測大尺寸樣品  可測單晶片樣品的大尺寸為4英寸（100mm）。

快速控溫與高真空  升溫速率可達100℃/s，真空度可達到10Pa。

程序設(shè)定與氣路擴展   多可創(chuàng)建和存儲32個程序、8個PID設(shè)定，實現(xiàn)不同溫度段的精確測試。多可擴展至4條工藝氣路（MFC），應(yīng)用不同氣氛環(huán)境（真空、氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣體等）。

全自動智能控制  采用全自動智能控制，包括溫度、時間、氣體流量、真空、氣氛、冷卻水等均可實現(xiàn)自動控制。

超高安全系數(shù)   采用爐門安全溫度開啟保護、溫控器開啟權(quán)限保護以及設(shè)備急停安全保護三重安全措施，*保障儀器使用安全。

快速退火爐技術(shù)參數(shù)