熱式氣體質(zhì)量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)，其典型傳感器元件包括兩個熱電阻（鉑RTD)，一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)這兩個RTD被置于介質(zhì)中時，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個恒定的溫差。另一個溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體速率增加，傳感器傳遞給價值的熱量增多，因此需要供給更多的功率，而電子單元加熱RTD的功率與質(zhì)量流量成一定的對應(yīng)關(guān)系。