英國(guó)超精密電容位移傳感器
單極性ZCS1100和雙極性ZNXsensor超精密電容傳感器，可應(yīng)用：壓電微位移、振動(dòng)臺(tái)，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測(cè)量等。

ZCS1100超精密電容位移傳感器特點(diǎn)：
納米級(jí)分辨率；線性0.08%；靈敏度可調(diào)；
量程：240µm；
線性：0.08%；
分辨率：0.1nm
頻帶：35KHZ；

ZNXsensor雙極型精密電容位移傳感器特點(diǎn)：
納米分辨率；零磁滯；線性0.02%；頻帶可調(diào)50～5000HZ；靈敏度可調(diào)；
量程： －/20 /50/100 /250/500/1250 um；
線性：0.02～0.08%；
頻帶：50 /500 /5000HZ；
溫漂：鋁探頭：22ppm/ºC；殷鋼：0.3 ppm/ºC；
靈敏度系數(shù)：0.1或0.05或0.01
穩(wěn)定性：50nm/月，10nm/天
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