位移傳感器|電渦流位移傳感器

超精密電渦流位移傳感器
有埃米級(jí)分辨率電渦流位移傳感器SMU9000、SMT9700,

電渦流位移傳感器

其典型應(yīng)用：
光學(xué)平臺(tái)位置測(cè)量；半導(dǎo)體和光器件的研磨閉環(huán)測(cè)控；半導(dǎo)體模板對(duì)齊系統(tǒng)定位；半導(dǎo)體蒸鍍系統(tǒng)定位；
電子顯微鏡垂直軸定位；原子顯微鏡垂直軸定位；磁懸浮軸控制；部件研磨加工的精確定位；鏡片定位控制；
物質(zhì)收縮測(cè)試測(cè)量；機(jī)械結(jié)構(gòu)變形探測(cè)與測(cè)試；高精度照排3D位置測(cè)量；讀寫(xiě)頭制造，研磨板定位；
有納米級(jí)高穩(wěn)定差動(dòng)電渦流位移傳感器KD5100

電渦流位移傳感器

特點(diǎn)：
-超高分辨率，1埃
-信噪音比：1PPM
-精確度0.1%，通過(guò)計(jì)算機(jī)校準(zhǔn)；
-頻響：0～10KHZ