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精密劃片機(jī)

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北京飛凱曼科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

北京飛凱曼公司提供精密劃片機(jī)。日本APCO公司系列，型號包括AMC－7600，7800，8000。廣泛應(yīng)用于硅片、光掩膜、液晶顯示器用TFT、石英、集成電路器件等樣品橫斷面的切割。劃片精度±2.5微米，適用于zui大達(dá)8英寸，厚度0.6至10毫米樣品，可確保獲得光滑的橫斷面以便于進(jìn)一步觀察。具有CPU控制，操作簡便，制備速度快，可以刻劃平坦或彎曲的樣品。目前，包括東芝、索尼、愛普生、IBM、

詳細(xì)介紹

北京飛凱曼公司提供精密劃片機(jī)。日本APCO公司精密劃片機(jī)系列，型號包括AMC－7600，7800，8000。廣泛應(yīng)用于硅片、光掩膜、液晶顯示器用TFT、石英、集成電路器件等樣品橫斷面的切割。劃片精度±2.5微米，適用于zui大達(dá)8英寸，厚度0.6至10毫米樣品，可確保獲得光滑的橫斷面以便于進(jìn)一步觀察。具有CPU控制，操作簡便，制備速度快，可以刻劃平坦或彎曲的樣品。目前，包括東芝、索尼、愛普生、IBM、菲利普、NEC等許多的半導(dǎo)體制造商都在使用APCO的產(chǎn)品。
AMC-8000切割機(jī)（）

AMC-8000是AMC-7600、8000的改進(jìn)型，主要是提高了劃線精度。
光學(xué)顯微鏡采用美國的NAVITAR公司的伸縮鏡頭顯微鏡，通過CCD攝像機(jī)定位。
也可選用伸縮和微聚焦的電機(jī)驅(qū)動式。
其他規(guī)格與AMC-7600相同。

《AMC-8000簡要規(guī)格》

適用材料：石英、硅片、玻璃、掩膜片、TFT基板、顯象管、等離子體顯示器等
平面、曲面（CRT熒光面等）均可切劃
適用材料尺寸：zui大8”英寸
劃線精度：±2.5um
zui大顯示倍率：約800倍（在20寸CRT上）
外形尺寸：650^W×550^D×650^H^（（不含CRT等）
重量：約78Kg（不含CRT等）

一.特點(diǎn)

操作簡單，自動劃線準(zhǔn)確，可間隔劃線5處
平面、曲面皆可劃線，切線整齊，獲
劃刀壓力可自由設(shè)定，從2N～60N
刀片壽命可達(dá)1年以上
帶報(bào)警裝置，工作不正常時(shí)會報(bào)警
適用于石英、硅片、研磨片、玻璃、TFT基板、顯象管、等離子體顯示器等

二.主要規(guī)格

        1．適用材料尺寸    8英寸    10mm^t
        2．工作臺移動距離 X＝50mm Y＝230mm θ＝360度
        3．劃線精度        ±15um
        4．光學(xué)系統(tǒng)        單筒收縮顯微鏡實(shí)體顯微鏡
        5．監(jiān)測            CCD＋14～20英寸彩顯
        6．顯示倍率        22～800倍

三.切割壓力設(shè)定實(shí)例

        石英    8.85mm^t           約45N
        石英    3.00              約30N
        石英    2.30              約25N
        玻璃    10mm（14”CRT）   約55N
        玻璃    0.8mm             約12N
        Si      0.7mm             約5N
        顯象管 10mm
        硅片（Si、InP）

四.切成片實(shí)例

        6025石英掩膜→6.35mm×約5mm×約5mm
        1.2mm^t玻璃  →1.2mm×約5mm×約50mm
        0.7mm^t硅片  →0.7mm×約4mm×約4mm
        3mm^t InP片 →0.3mm×約0.5mm×約5mm

五.刀壓設(shè)定很容易

刀壓由旋鈕自由設(shè)定。對一種試樣，可改變幾次設(shè)定值試劃，便可得到合適的刀壓。以合適刀壓劃線后，用附屬的切斷鉗很容易切斷。

六.劃線設(shè)定簡單

只要將劃線端點(diǎn)對準(zhǔn)OM表針中心位置，按壓設(shè)定指令按鈕即可，此位置即為劃線起點(diǎn)或終點(diǎn)。
zui大設(shè)定12點(diǎn)（間隔劃線zui大可設(shè)定5點(diǎn)）設(shè)定后，裝置即自動劃片。

七.劃刀壽命長（1年以上）的理由

采用超硬刀輪，旋轉(zhuǎn)劃片，不易磨損。
超硬刀輪的行走方向由工作臺的行走方向調(diào)節(jié)。

八.帶有聲響警告裝置，在下列情況下裝置警告且不工作

當(dāng)工作臺旋轉(zhuǎn)鎖定未卡好時(shí)；
設(shè)定位置不當(dāng)時(shí)；
設(shè)定次數(shù)與要?jiǎng)澗€次數(shù)不符合時(shí)。

九.安全保證

漏電切斷，無熔線斷路器。

AMC-8000補(bǔ)充說明
本機(jī)不是大批量生產(chǎn)用的，而是在使用SEM觀察各種半導(dǎo)體硅片、各種玻璃材料等不良部位及試制品合格與否時(shí)，為其制作試樣用的機(jī)器。使用該機(jī)的主要時(shí)研究開發(fā)部門、品質(zhì)管理部門、分析/解析部門。
本機(jī)的特點(diǎn)及剖面SEM試樣的加工工藝如下：
一．特點(diǎn)

制作試樣無需研磨，一般制作試樣時(shí)時(shí)先將試樣埋入樹脂后，而研磨而制成的，故制作一個(gè)試樣需要花幾個(gè)小時(shí)，本機(jī)則只需要15分鐘左右。
采用*的跳躍間隔劃線方式，不會傷及觀察部分（試樣表面）。
使用顯微鏡，能很容易輸入劃線加工部分的坐標(biāo)位置。
提高了X軸方向的分辨率，以便能從要觀察的部分切斷。

二．加工工藝過程：

先在要觀察的微小部位的前后表面劃線，以便之后切斷。
用夾鉗夾住試樣，切斷。

三．劃線精度：
AMC-7600     ±15um
AMC-7800     ±15um
AMC-8000     ±2.5um
四．劃線寬度由試樣和劃線加工條件而異，約為數(shù)100 um
五．zui大5點(diǎn)跳躍間隔劃線，如后圖所示，用顯微鏡觀察試樣表面時(shí)，如果觀察部分遭到破壞，便無法觀察，本機(jī)可預(yù)先設(shè)定好劃線坐標(biāo)位置，自動地跳過要觀察的部位，這樣便不會劃傷要觀察的部位了。而且一次劃線可取得5個(gè)要觀察的位置。
但條件是硅片等結(jié)晶材料，其觀察部位要沿結(jié)晶方向在一條直線上。
六．劃刀價(jià)格：15000－30000日元。（屬日本國內(nèi)價(jià)格，且?guī)У都埽?/span>
七．劃刀壽命：以加工硅片為例，每年需換2－3次刀。
八．ABK－5切斷機(jī)的使用方法：