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更新時間:2025-08-27 08:16:45瀏覽次數(shù):91次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)NanoCalc薄膜反射測量系統(tǒng)

薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統(tǒng)可以用來進行10nm~250µm的膜厚分析測量,對單層膜的分辨率為0.1nm。根據(jù)測量軟件的不同,可以分析單層或多層膜厚。
特點
可分析單層或多層薄膜
分辨率達0.1nm
適合于在線監(jiān)測
的兩種測量薄膜的特性的方法為光學(xué)反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理進行膜厚測量。
可以進行多達三層的薄膜測量,薄膜和基體測量可以是金屬、電介質(zhì)、無定形材料或硅晶等。NanoCalc軟件包含了大多數(shù)材料的n和k值數(shù)據(jù)庫,用戶也可以自己添加和編輯。
NanoCalc薄膜反射材料系統(tǒng)適合于在線膜厚和去除率測量,包括氧化層、中氮化硅薄膜、感光膠片及其它類型的薄膜。NanoCalc也可測量在鋼、鋁、銅、陶瓷、塑料等物質(zhì)上的抗反射涂層、抗磨涂層等。
| NC-UV-VIS-NIR | |
| 重量: | 250-1100nm |
| 厚度: | 10nm-70µm |
| 光源: | 氘鹵燈 |
| NC-UV-VIS | |
| 重量: | 250-850nm |
| 厚度: | 10nm-20µm |
| 光源: | 氘鹵燈 |
| NC-VIS-NIR | |
| 重量: | 400-1100nm |
| 厚度: | 20nm-100µm (可選1µm-250µm) |
| 光源: | 鹵燈 |
| NC-VIS | |
| 重量: | 400-850nm |
| 厚度: | 50nm-20µm |
| 光源: | 鹵燈 |
| NC-NIR | |
| 重量: | 650-1100nm |
| 厚度: | 70nm-70µm |
| 光源: | 鹵燈 |
| NC-NIR-HR | |
| 重量: | 650-1100nm |
| 厚度: | 70nm-70µm |
| 光源: | 鹵燈 |
| NC-512-NIR | |
| 重量: | 900-1700 nm |
| 厚度: | 50nm-200µm |
| 光源: | 高亮度鹵燈 |
| 入射角 | 90° |
| 層數(shù) | 3層以下 |
| 需要進行參考值測量 | 是 |
| 透明材料 | 是 |
| 傳輸模式 | 是 |
| 粗糙材料 | 是 |
| 測量速度 | 100ms - 1s |
| 在線監(jiān)測 | 可以 |
| 公差(高度) | 參考值測量或準直(74-UV) |
| 公差(角度) | 參考值測量 |
| 微黑子選項 | 配顯微鏡 |
| 顯示選項 | 配顯微鏡 |
| 定位選項 | 6"和12" XYZ 定位臺 |
| 真空 | 可以 |
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