喜開理CKD真空閥RM3000-8-W-B3W

壓力（B→A） MPa 0~0.5
閥座泄漏cm3/min 0 (水壓時(shí))
背壓MPa 0~0.5
環(huán)境溫度°C 0~60
頻率30/分以下
安裝方式自由
比原有產(chǎn)品Part 3系列壓力范圍更大。
控制壓力通用，A、B 口的壓力通用化了。
本品是在半導(dǎo)體線中，為控制真空室內(nèi)的真空壓力而設(shè)計(jì)的系統(tǒng)。
●各種CVD裝置 ●實(shí)驗(yàn)·研究用途（真空壓力控制）

前請(qǐng)確認(rèn)產(chǎn)品構(gòu)成材料與流體及周邊環(huán)境是否適用。
注2 ：或者含有的化學(xué)液體時(shí)，
請(qǐng)?jiān)?~80°C范圍內(nèi)。
如果連接方式為F-LOCK60系列配件，溫度范圍變?yōu)?~100°C。
Cv值是溫度為23°C時(shí)的值。
流體純水、化學(xué)液體、空氣、氮?dú)猓ㄗ?）
流體溫度°C 5~120 （注2、注3）
耐壓MPa 1.0
壓力（A→B） MPa 0~0.5
在半導(dǎo)體以及LCD制造的清潔化學(xué)液體（包括純水）的設(shè)備
內(nèi)，用于控制化學(xué)液體壓力的減壓閥
■對(duì)異物非常敏感的內(nèi)置型過濾器
■流量、壓力特性優(yōu)良，安裝簡單
■優(yōu)良的耐腐蝕性
接液部位氟樹脂（PFA、PTFE）和SUS316，可發(fā)揮優(yōu)良的耐腐蝕性
喜開理CKD真空閥RM3000-8-W-B3W