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*實(shí)驗(yàn)室三維磁場(chǎng)探針臺(tái) 接近開(kāi)關(guān)

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北京錦正茂科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

錦正茂三維磁場(chǎng)探針臺(tái) 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。三維探針臺(tái)和錦正茂自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配，通過(guò)真正的雙極性電源輸出，實(shí)現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場(chǎng)合成。

詳細(xì)介紹

三維磁場(chǎng)探針臺(tái)

產(chǎn)品概述：

錦正茂三維磁場(chǎng)探針臺(tái)北京錦正茂科技有限公司提供的一維、二維、三維磁場(chǎng)探針臺(tái)，采用無(wú)磁材料制成，一維、二維、三維三對(duì)亥姆霍茲線圈正交放置，產(chǎn)生空間一維、二維、三維磁場(chǎng)。線圈可采用風(fēng)冷（磁場(chǎng)較小）也可采用水冷結(jié)構(gòu)（磁場(chǎng)較大），并且配備有線圈過(guò)熱保護(hù)裝置。和錦正茂生產(chǎn)的高精度雙極性直流電源配合使用可以長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。通過(guò)軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流，可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場(chǎng)。探針臺(tái)配備有可移動(dòng)樣品臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動(dòng)和樣品臺(tái)360度轉(zhuǎn)動(dòng)，便于樣品的安裝和測(cè)試。探針臺(tái)具有四個(gè)高精度探針臂，同時(shí)配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過(guò)直流或者低頻交流信號(hào)，用來(lái)測(cè)試芯片、晶圓片、封裝器件等。

應(yīng)用范圍：

錦正茂三維磁場(chǎng)探針臺(tái) 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。三維探針臺(tái)和錦正茂自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配，通過(guò)真正的雙極性電源輸出，實(shí)現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場(chǎng)合成。

可選附件：

t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線

t CCD或C-MOS視頻成像裝裝置

t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置

t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)

t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級(jí)

t 超高溫升級(jí)選件

t 超高真空升級(jí)選件

t 各類探針夾具

t 屏蔽箱

t 防振桌

t 轉(zhuǎn)接頭

t *真空泵

技術(shù)指標(biāo)：

三維磁場(chǎng)探針臺(tái)
型號(hào)	T8-500-3	T8-300-3	T8-100-3
材質(zhì)	所選材料均為無(wú)磁材質(zhì)
磁場(chǎng)范圍	500Gs	300Gs	100GS
線圈材質(zhì)	耐高溫漆包線
磁場(chǎng)均勻性	中心區(qū)50毫米球體內(nèi)1%
電源穩(wěn)定性	三臺(tái)高精度直流電源 50ppm可選10ppm
磁場(chǎng)分辨率	0.05 mT
角度分辨率	0.02°
樣品固定方式	吸盤或者壓片
樣品臺(tái)直徑	50mm可定制
顯微鏡	X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光
放大倍數(shù)	16~100X/20~4000X
探針臂數(shù)量	2、4可選
探針臂行程	25mm-25mm-12mm可更換
探針臂移動(dòng)精度	10μm /2μm/1μm/0.7μm可選
探針長(zhǎng)度	38mm
探針直徑	0.51mm
針尖直徑	10μm/5μm/1μm
探針材料	鎢/鈹銅/GGB
漏電精度	100fA
顯微鏡	X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光

北京市豐臺(tái)區(qū)紀(jì)家廟8號(hào)21號(hào)樓125號(hào)

關(guān)鍵詞：直流電源電子顯微鏡真空泵漆包線顯微鏡

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三維磁場(chǎng)探針臺(tái)

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