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三維磁場探針臺半導(dǎo)體材料測試

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產(chǎn)品型號T8-500-3T8-300-3T8-100-3

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更新時間：2023-02-26 07:16:54瀏覽次數(shù)：147次

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北京錦正茂科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

三維探針臺和錦正茂自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場合成。

詳細(xì)介紹

三維磁場探針臺

產(chǎn)品概述：

錦正茂三維磁場探針臺北京錦正茂科技有限公司提供的一維、二維、三維磁場探針臺，采用無磁材料制成，一維、二維、三維三對亥姆霍茲線圈正交放置，產(chǎn)生空間一維、二維、三維磁場。線圈可采用風(fēng)冷（磁場較?。┮部刹捎盟浣Y(jié)構(gòu)（磁場較大），并且配備有線圈過熱保護(hù)裝置。和錦正茂生產(chǎn)的高精度雙極性直流電源配合使用可以長時間穩(wěn)定工作。通過軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流，可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺，可以實現(xiàn)水平方向二維移動和樣品臺360度轉(zhuǎn)動，便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。

應(yīng)用范圍：

錦正茂三維磁場探針臺 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。三維探針臺和錦正茂自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場合成。

可選附件：

t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線

t CCD或C-MOS視頻成像裝裝置

t Chuck運動裝置

t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)

t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級

t 超高溫升級選件

t 超高真空升級選件

t 各類探針夾具

t 屏蔽箱

t 防振桌

t 轉(zhuǎn)接頭

t 真空泵

技術(shù)指標(biāo)：

三維磁場探針臺
型號	T8-500-3	T8-300-3	T8-100-3
材質(zhì)	所選材料均為無磁材質(zhì)
磁場范圍	500Gs	300Gs	100GS
線圈材質(zhì)	耐高溫漆包線
磁場均勻性	中心區(qū)50毫米球體內(nèi)1%
電源穩(wěn)定性	三臺高精度直流電源 50ppm可選10ppm
磁場分辨率	0.05 mT
角度分辨率	0.02°
樣品固定方式	吸盤或者壓片
樣品臺直徑	50mm可定制
顯微鏡	X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光
放大倍數(shù)	16~100X/20~4000X
探針臂數(shù)量	2、4可選
探針臂行程	25mm-25mm-12mm可更換
探針臂移動精度	10μm /2μm/1μm/0.7μm可選
探針長度	38mm
探針直徑	0.51mm
針尖直徑	10μm/5μm/1μm
探針材料	鎢/鈹銅/GGB
漏電精度	100fA
顯微鏡	X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光