廣東省東莞市品雅真空設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間：2025-05-13 10:18:24瀏覽次數(shù)：154次
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安捷倫分子泵在高真空和超高真空應(yīng)用中的幾點(diǎn)優(yōu)勢
1. 陶瓷軸承，脂潤滑，無需維護(hù)，兩個(gè)軸承都在排氣口端，確保了清潔的真空環(huán)境。( 這對超高真空的應(yīng)用來說非常重要) ，無磁軸承，軸承對轉(zhuǎn)子的固定作用強(qiáng)，可以承受一定的外界機(jī)械沖擊。( 這對移動式的真空機(jī)組尤為重要)
360度任意角度安裝，長壽命，平均運(yùn)行時(shí)間長達(dá)12000小時(shí)。
2． 轉(zhuǎn)子葉片一次加工完成，不僅自重輕，而且大大減小了葉片內(nèi)的應(yīng)力。因此機(jī)械強(qiáng)度高，轉(zhuǎn)子壽命長
3． 擁有技術(shù)的MacroTorr拖動級，使得瓦里安分子泵對氣體，特別是小分子氣體，有很高的壓縮比
分子泵對不同的氣體的抽速和壓縮比是有顯著不同的。壓縮比描述的是分子泵對特定氣體的壓縮能力。在分子泵的排氣口壓力保持不變的情況下，對壓縮比比較大的分子泵來說，氣體分子由排氣口返流回進(jìn)氣口的量較小，反之，則返流較大。
美國安捷倫Agilent TV81M就是意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵，又稱為Varian TV81-M分子泵，其與瓦里安的同門兄弟Varian Turbo-V 81-T,都是varian TV81系列，轉(zhuǎn)速都是80000，DN63口徑時(shí)，抽速都是77L/s，啟動時(shí)間都是60秒，分子泵電源可以相互通用，他們差別在哪里，很多人不清楚。其實(shí)意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M要比美國安捷倫Agilent TV81M好很多，其內(nèi)部設(shè)計(jì)的不同，設(shè)計(jì)更為緊湊合理，在壓縮氣體的方面要優(yōu)躍于安捷倫的產(chǎn)品。
在分子泵剛剛開始工作的階段，由于有大量的氣體由進(jìn)氣口被抽到排氣口，所以這種返流對實(shí)際抽速帶來的影響不是很大，而隨著進(jìn)氣口壓力的下降，分子泵抽下來的氣體量在減少，這時(shí)，氣體返流對抽速的影響也就大起來了。這就是分子泵對小分子氣體，特別是氫氣的抽氣能力較差的原因。
對于高真空/超高真空系統(tǒng)，當(dāng)系統(tǒng)內(nèi)的壓力低于10-6毫巴以后，系統(tǒng)內(nèi)氫氣占的比例越來越大，而此時(shí)氫氣的返流也越來越明顯，因此此時(shí)分子泵的有效抽速已經(jīng)與產(chǎn)品說明書給出的參數(shù)相差很大了。分子泵對氫氣的壓縮比越大，分子泵對氫氣的實(shí)際有效抽速就越大；反之，則實(shí)際有效抽速已經(jīng)所剩無幾。
簡單的講，Varian Turbo-V 81-M比Varian Turbo-V 81-T高級一些，從“身高"來看就高一些，分子泵抽氣壓縮比要高出不少，根本原因是其轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)不同，Varian Turbo-V 81-M的渦輪轉(zhuǎn)子多了幾層導(dǎo)流環(huán)，詳情請見對比的圖片
意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵對應(yīng)的訂貨號如下：
Turbo-V 81-M pump with ISO 63 inlet flange Part No. 9698901：
在原子力顯微鏡中，瓦里安也有的優(yōu)勢，配合其緩沖器，分子泵頂部震動可以小于磁懸浮分子泵，能提供更清晰更穩(wěn)定的圖像。
Varian 分子泵采用 Varian Macro Torr技術(shù)，Macro Toree是目前世界上蕞有效的渦輪級設(shè)計(jì)技術(shù)。
渦輪轉(zhuǎn)子都用單塊鋁合金整體加工而成， 重量蕞小化， 分子泵可以在360度范圍內(nèi)以任意角度工作而無需任何調(diào)整?
整體化設(shè)計(jì)降低了作用在材料和軸承上的壓力，可靠性。
免維護(hù)的陶瓷軸承， 無油，無污染， 平均時(shí)間大大增加
安捷倫分子泵和意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵備件對應(yīng)的訂貨號如下Pump Accessories
Mains cable NEMA plug, 3 m long 0.5 (1.0) 9699958
Mains cable European plug, 3 m long 0.5 (1.0) 9699957
Serial cable and T-Plus Software 0.5 (1.0) 9699883
Inlet screen, KF 40 0.5 (1.0) 9699309
Inlet screen, CF 4 1?2" – ISO 63 0.5 (1.0) 9699300
Inlet screen, CF 2 3?4" 0.5 (1.0) 9699328
Heater bａnd 220 V 1.0 (2.2) 9699801
Heater bａnd 120 V 1.0 (2.2) 9699802
Metallic water cooling kit 0.5 (1.0) 9699823
Plastic water cooling kit 0.5 (1.0) 9699824
Air cooling kit (0.5 m cable) 2.2 (5.0) 9699290
Air cooling kit extension cable (5 m) 2.2 (5.0) 9699940
Pump extension cable 2.2 (5.0) 9699942
Vibration damper DN 63 0.5 (1.0) 9699375
Vibration damper CFF 4.5″ 0.5 (1.0) 9699376
Vent flange KF 10 0.5 (1.0) 9699108
Active Gauges Ask Varian for details
安捷倫分子和意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵建議使用的前極真空泵：Recommended Forepump
Mechanical pump DS 42 11.0 (24.0) 9499309
Mechanical pump DS 102 22.0 (48.0) 9499315
Dry scroll SH 110 19.0 (43.0) SH01101 UNIV
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