工作原理：

數字式真空計利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰電離規(guī)和冷陰電離規(guī)。

量程范圍：

數字式真空計在較高壓力時(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等。

數字式真空計在10~10Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(熱傳導，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。

數字式真空計在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。

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