目前常用的質(zhì)量流量計(jì)有兩種，即：科氏力質(zhì)量流量計(jì)和熱式質(zhì)量流量計(jì)。
由于科氏力質(zhì)量流量計(jì)能夠直接測(cè)量流體的質(zhì)量流量（這對(duì)能源的計(jì)量和化學(xué)反應(yīng)等生產(chǎn)過(guò)程檢測(cè)控制具有重要意義）；而且測(cè)量準(zhǔn)確度高（一般測(cè)量準(zhǔn)確度可保證在0.1%-0.3%左右。目前，艾默生高準(zhǔn)質(zhì)量流量計(jì)已經(jīng)達(dá)到0.05%）；應(yīng)用范圍廣（除正常的流體測(cè)量外還可測(cè)量一般流體測(cè)量?jī)x表較難測(cè)量的工業(yè)介質(zhì)，如非牛頓流體、各種漿液、懸浮液等）；安裝要求不高（一般對(duì)上下游直管段沒(méi)有什么要求）；運(yùn)行可靠、維修率低等特點(diǎn)使其應(yīng)用越來(lái)越廣泛。由于它是依靠力學(xué)原理來(lái)工作的。對(duì)于本身質(zhì)量密度較輕的一些氣體介質(zhì)準(zhǔn)確計(jì)量的難度較大。因此，科氏力質(zhì)量流量計(jì)一般常用于液體介質(zhì)和密度較大的氣體介質(zhì)的流量計(jì)量。
熱式質(zhì)量流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理，熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)，其典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻（鉑RTD ），一個(gè)是速度傳感器，一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)這兩個(gè)RTD 被置于介質(zhì)中時(shí)，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個(gè)恒定的溫差，另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過(guò)傳感元件的熱傳遞量來(lái)計(jì)算的。氣體速率增加，傳感器傳遞給介質(zhì)的熱量增多，因此需要供給更多的功率，而電子單元加熱RTD 的功率與質(zhì)量流量成一定的對(duì)應(yīng)關(guān)系。這種質(zhì)量流量計(jì)的傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，而且由于其采用熱擴(kuò)散原理制成，特別適用于氣體介質(zhì)，尤其是小流量的氣體介質(zhì)的流量計(jì)量。但對(duì)于液體介質(zhì)則不太適用，并且它對(duì)于工作環(huán)境及上下游直管段的要求也比較高。
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