成都萊峰科技有限公司
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產(chǎn)品型號LFIX-2000
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地成都市
聯(lián)系方式:張多查看聯(lián)系方式
更新時間:2026-09-02 08:59:28瀏覽次數(shù):561次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)對多路氣體進行混合,單獨控制每路氣體流量,達到要求的混合比例或濃度,精度高,穩(wěn)定性好,可實現(xiàn)電腦軟件自動化控制
氣體傳輸:2-8種氣體 , Swagelok卡套連接
氣體類型:30種
進氣壓力:0.1-0.4MPA
控制閥動作型式:常閉式
響應時間(sec):1S
工作壓差:0.05~0.5MPA
zui大耐壓:3MPA
控制原理:質(zhì)量流量控制,每個出口單獨控制
流量:50SCCM,100SCCM,500SCCM可定做
采用溫度變化對應于質(zhì)量流量的原理,可以對不同的氣體進行流量量測及控制,并且不會受到溫度及壓力變化的影響
其他流速可選擇 ,其他氣體可選擇
準確性: 優(yōu)于1%
數(shù)據(jù):輸出的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為標準狀態(tài)下的質(zhì)量( 1個大氣壓,0度)
標準狀態(tài)規(guī)定為:
標準溫度………………0℃(273.15K)
標準壓強………………101325Pa
控制顯示方式:電腦操作
精確控制兩種不同氣體流量大小,使用其按不同比例(量)均勻混合,并精確控制混合氣體流量大小。
可通過電腦軟件控制及采集流量信號
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