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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
日本cosmos新宇宙帶顯示的氣體檢測(cè)部PS-7

型號(hào)：新宇宙式特氣檢測(cè)部 PS-7（半導(dǎo)體工廠用）

特性：專為半導(dǎo)體行業(yè)定制，傳感器自由更換，維護(hù)方便

檢測(cè)對(duì)象：半導(dǎo)體材料氣體

參數(shù)特點(diǎn):
帶有氣體采樣流量自動(dòng)控制功能

LCD顯示，現(xiàn)場(chǎng)狀態(tài)一目了然

實(shí)現(xiàn)小型、輕量化

可簡(jiǎn)單地更換傳感器和采樣氣路

帶有防止傳感器單元錯(cuò)誤插入的功能

可以設(shè)定多樣的維護(hù)模式

組合對(duì)應(yīng)熱分解單元與定電位電解式傳感器，能檢測(cè)NF3等

實(shí)現(xiàn)了用PDA讀取數(shù)據(jù)

符合CE規(guī)格，SEMI規(guī)格

規(guī)格

型號(hào)	PS-7
標(biāo)準(zhǔn)型	附帶轉(zhuǎn)換器組件型
檢測(cè)原理	?定電位電解式、熱絲型半導(dǎo)體式、隔膜電流電池式 ?熱分解+定電位電解式
采樣方式	泵吸引式（0.5L/min吸引流量自動(dòng)控制）
采樣配管	特氟隆外徑6內(nèi)徑4mm、配管距離在20m以內(nèi)
氣體濃度顯示	液晶數(shù)字四位顯示（附帶單位）20分割條形圖

報(bào)警接點(diǎn)	?氣體報(bào)警（1段以及二級(jí)）報(bào)警、紅色液晶指示燈閃爍、液晶畫面第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2顯示 ?流量降低報(bào)警堵塞指示顯示：流量顯示為低速運(yùn)轉(zhuǎn) 報(bào)警：黃色LED指示燈閃爍：液晶畫面 FLOW顯示以及流量顯示為停止運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài) ?傳感器故障報(bào)警/傳感器誤插入報(bào)警報(bào)警：黃色LED指示燈閃爍：液晶畫面 SENS.顯示 ?熱分解爐斷線報(bào)警報(bào)警：黃色LED指示燈閃爍：液晶畫面 CONV.顯示
外部輸出	氣體濃度模擬輸出 DC4~20mA（與電源的負(fù)極通用）氣體報(bào)警接點(diǎn)（1段以及兩極） 1a無(wú)電壓接點(diǎn)/自動(dòng)復(fù)位故障報(bào)警接點(diǎn) （開路集電極/自動(dòng)復(fù)位）
適合電纜線	控制用屏幕電纜線（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯使用溫度濕度范圍 0℃~40℃（但是不能有劇烈的溫度變化）、30~85%RH（但不能結(jié)露）
使用電源	DC24V±10%
消耗電力	約7w
尺寸	?W62xH124xD143mm(除去突起物) ?W62xH124xD143mm(除去選購(gòu)件和突起物)
重量	約1.0kg
安裝方法	壁掛式