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新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測器XPS-7

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更新時(shí)間:2021-09-15 18:34:07瀏覽次數(shù):110次

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新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測器XPS-7


產(chǎn)品簡介:
日本cosmos新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測器XPS-7
特性:可更換傳感器
檢測對(duì)象:半導(dǎo)體材料氣體
檢測方式:吸引式


參數(shù)特點(diǎn):
只需更換傳感器單元就可以檢測各種對(duì)象氣體。
用盒式傳感器單元無需進(jìn)行氣體檢測器校正。
可以大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間。
※無報(bào)警時(shí)(氣體濃度顯示5ppm以下)、20℃時(shí)。
規(guī)格
型 號(hào)
XPS-7
檢測原理
定電位電解式
檢測氣體對(duì)象
半導(dǎo)體材料氣體
測量范圍
根據(jù)規(guī)格
分 解 能
全量程的百分之一表示
指示精度
FS±10%以內(nèi)
報(bào)警模式
2段報(bào)警方式
報(bào)警方式
蜂鳴器(斷續(xù)音)、報(bào)警燈閃爍
應(yīng)答時(shí)間
60秒以內(nèi)(60%應(yīng)答)
電 源
5號(hào)堿性干電池4節(jié)或AC專用變壓器
電池使用時(shí)間
連續(xù)12小時(shí)以上(使用堿性干電池?zé)o報(bào)警、20℃時(shí))
外型尺寸
W62×H150×D128mm(突出部分除外)
檢測方式
泵吸引式
使用溫度范圍
0℃~40℃
重 量
約1.3kg
附 件
肩背皮帶、5號(hào)堿性干電池4節(jié)、過濾紙2張
選 購 件
AC專用變壓器、傳感器專用通電臺(tái)、數(shù)據(jù)收集配套元件

檢測氣體一覽表:

對(duì)象氣體一覽表
型號(hào)
氣體
F.S
型號(hào)
氣體
F.S
型號(hào)
氣體
F.S
XDS-7NH
NH3
100ppm
XDS-7GH
GeH4
1ppm
XDS-7HS
H2S
50ppm
XDS-7SH
SiH4
25ppm
XDS-7CL
CL2
5ppm
XDS-7CO
CO
250ppm
XDS-7DC
SiH2CL2
25ppm
XDS-7CF
CLF3
1ppm
XDS-7DS
Si2H6
25ppm
XDS-7AH
AsH3
250ppb
XDS-7HC
HCL
25ppm
XDS-7F2
F2
5ppm
XDS-7PH
PH3
1ppm
XDS-7HF
HF
10ppm
XDS-7OZ
O3
1ppm
XDS-7BH
B2H6
500ppb
XDS-7HB
HBr
10ppm
XDS-7SE
H2Se
250ppb
XDS-7NO
NO
100ppm

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