廣州奧普士光電有限公司
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所 在 地廣州市
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更新時間：2022-08-24 17:24:22瀏覽次數(shù)：670次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)Expose Steppers ★廣泛應(yīng)用于微電機(jī)、LED、微電子等行業(yè) ★寬程聚焦、點對點校正 ★尼康超級鏡頭實現(xiàn)1μm分辨率 ★校直系統(tǒng)精度≤0.3μm ★良好人機(jī)界面，操作簡便
解析度：≤2.0μm
鏡頭-NA：0.2/0.16
露光范圍：15mm×15mm
露光用波長：405nm
校直系統(tǒng)精度：≤0.3μm
試料尺寸：2"-6"
露光量：可達(dá)100個試料/小時
尺寸：1150×1940×2080mm
重量：1750kg
聚焦
應(yīng)用：
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