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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州成越科學儀器有限公司


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激光鍍膜設備 鍍膜機

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質經(jīng)銷商

所  在  地鄭州市

聯(lián)系方式：溫遠征查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-10-02 09:24:44瀏覽次數(shù)：1950次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：20條

所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：溫遠征 （工程師）

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn) 加工定制 是

激光鍍膜設備
樣品傳遞機構、樣品架、旋轉靶臺、真空排氣、真空測量、電器控制、配氣、計算機控制等各部分組成。廣泛應用于大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。

詳細介紹

簡單介紹：

激光鍍膜設備系統(tǒng)由真空腔室（主濺射室、進樣室）、樣品傳遞機構、樣品架、旋轉靶臺、真空排氣、真空測量、電器控制、配氣、計算機控制等各部分組成。廣泛應用于大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。

詳情介紹：

激光鍍膜設備用途：

用于生長光學晶體、鐵電體、鐵磁體、超導體和有機化合物薄膜材料，適用于生長高熔點、多元素及含有氣體元素的復雜層狀超晶格薄膜材料。廣泛應用于大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。

技術參數(shù)：

 

主真空室

球型結構，尺寸Ø 450mm

進樣室

圓筒型立式結構，尺寸Ø 150x 150mm

真空系統(tǒng)配置

主真空室

分子泵與機械泵，閥門

進樣室

分子泵與機械泵（與主真空室共用），閥門

極限壓力

主真空室

≦6*10-6Pa（經(jīng)烘烤除氣后）

進樣室

≦6*10-3Pa（經(jīng)烘烤除氣后）

恢復真空時間

主真空室

20分鐘可達到5*10-3Pa（系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮氣開始抽氣）

進樣室

20分鐘可達到5*10-3Pa（系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮氣開始抽氣）

旋轉靶臺

靶材*大尺寸約60mm；可一次安裝4塊靶材，可實現(xiàn)公轉換靶;每塊靶材可自轉，轉速5~60轉/分

 

基片加熱臺

樣品尺寸

Ø51

運動方式

基片可連續(xù)回轉，轉速5~60轉/分

加熱溫度

基片加熱zui高溫度800Ｃ±1  C，可控可調

氣路系統(tǒng)

質量流量控制器1路，充氣閥1路

可選部件

激光器裝置

配相干201激光器

激光束掃描裝置

二維掃描機械平臺，執(zhí)行兩自由度掃描

計算機控制系統(tǒng)

控制的內容主要有公轉換靶，靶自轉，樣品自轉、樣品控溫、激光束掃描等

設備占地面積

主機

1800 * 1800mm2

電控柜

700 *700mm2（1個）

 

 


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