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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司


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可程控磁控濺射鍍膜儀 鍍膜機(jī)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地鄭州市

聯(lián)系方式：溫遠(yuǎn)征查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-10-03 09:30:54瀏覽次數(shù)：2579次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：20條

所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：溫遠(yuǎn)征 （工程師）

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn) 加工定制 是

可程控磁控濺射鍍膜儀
主要由濺射真空室、磁控濺射靶、離子轟擊、公轉(zhuǎn)基片臺、光加熱系統(tǒng)、濺射電源、工作氣路、真空獲得系統(tǒng)、安裝機(jī)臺、真空測量、水冷卻及報(bào)警系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等組成。

詳細(xì)介紹

簡單介紹：

可程控磁控濺射鍍膜儀為單腔室結(jié)構(gòu)，主要由濺射真空室、磁控濺射靶、離子轟擊、公轉(zhuǎn)基片臺、光加熱系統(tǒng)、濺射電源、工作氣路、真空獲得系統(tǒng)、安裝機(jī)臺、真空測量、水冷卻及報(bào)警系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等組成。

詳情介紹：

可程控磁控濺射鍍膜儀由工控機(jī)和PLC實(shí)現(xiàn)控制，有自動和手動控制兩種模式。除取放樣品外，其它操作過程全部在觸摸屏上實(shí)現(xiàn)；提供真空系統(tǒng)、濺射工藝設(shè)置、充放氣系統(tǒng)等人機(jī)操作界面；在工控機(jī)上可通過配方設(shè)置參數(shù)，實(shí)現(xiàn)對程序工藝過程和設(shè)備參數(shù)的設(shè)置。

設(shè)備用途：

該產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED和光伏等行業(yè)，主要用于各種金屬、半導(dǎo)體及介質(zhì)材料的薄膜制備，可滿足科研兼小批量生產(chǎn)需要。

 

技術(shù)參數(shù)：

 

 

濺射室極限真空

≤8.0×10-6Pa

恢復(fù)真空時(shí)間

系統(tǒng)從大氣抽至1.0×10-3 Pa≤15min

均勻性

膜厚不均勻性≤±5%；片間不均勻性≤±5%；批次間不均勻性≤±5%

濺射真空室

圓筒形結(jié)構(gòu)，尺寸Ф800mm×250mm

磁控濺射系統(tǒng)

永磁靶4支，靶材尺寸6英寸；

配1臺進(jìn)口電源（射頻或直流脈沖可選）；

濺射速率：0.5～5埃/秒（靶材Al）

公轉(zhuǎn)基片臺

6英寸6片，（4英寸12片或3英寸16片）；

基片公轉(zhuǎn)3～15轉(zhuǎn)/分，連續(xù)可調(diào)，可選配公自轉(zhuǎn)復(fù)合工件臺

光加熱系統(tǒng)

樣品加熱溫度：室溫～250℃，連續(xù)可調(diào)；

基片溫度不均勻性：≤±10℃；

控溫方式為PID自動控溫及數(shù)字顯示，配備進(jìn)口控溫表

工作氣路

2路質(zhì)量流量控制器氣路

抽氣機(jī)組成

低溫泵（進(jìn)口）、羅茨干泵機(jī)組、氣動閘板閥（進(jìn)口）、管路等

真空測量

2個(gè)真空計(jì)（進(jìn)口）對系統(tǒng)真空、工作真空及前級真空進(jìn)行**檢測；真空度在工控機(jī)觸膜屏上可直觀顯示；可準(zhǔn)確監(jiān)控濺射鍍膜工藝過程的真空度

控制系統(tǒng)

系統(tǒng)由工控機(jī)（觸摸屏）和進(jìn)口PLC實(shí)現(xiàn)對整個(gè)系統(tǒng)的控制

占地面積

主機(jī)

1500×1000mm2

電控柜

700×700mm2（一個(gè)）

 


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