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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司


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單室磁控濺射鍍膜儀 鍍膜機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地鄭州市

聯(lián)系方式：溫遠(yuǎn)征查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-10-04 09:37:12瀏覽次數(shù)：2534次

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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：20條

所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：溫遠(yuǎn)征 （工程師）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn) 加工定制 是

單室磁控濺射鍍膜儀
主要由濺射真空室、磁控濺射靶、基片水冷加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成?？蓮V泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料科研與小批量制備。

詳細(xì)介紹

簡(jiǎn)單介紹：

單室磁控濺射鍍膜儀主要由濺射真空室、磁控濺射靶、基片水冷加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料科研與小批量制備。

詳情介紹：

單室磁控濺射鍍膜儀設(shè)備用途：

用于納米級(jí)單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備?？蓮V泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料科研與小批量制備。

技術(shù)參數(shù)：

 

真空室

圓型真空室，尺寸Ø 450×50mm

真空系統(tǒng)配置

復(fù)合分子泵、機(jī)械泵、閘板閥

極限壓力

≦6.67*10-5 Pa （經(jīng)烘烤除氣后）

恢復(fù)真空時(shí)間

40 分鐘可達(dá)到6 .6*10-4 Pa 。（系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充入干燥氮?dú)夂箝_始抽氣）

磁控靶組件

永磁靶三套；靶材尺寸Ø60mm（其中一個(gè)可濺射磁性材料）；各靶射頻灘射和直流裁射兼容；靶內(nèi)水冷；三個(gè)靶可共同折向上面的樣品中心；靶與樣品距離 90~110mm可調(diào)；當(dāng)直接向上濺射時(shí)，靶與樣品距離40~80mm可調(diào)

基片水冷加熱公轉(zhuǎn)臺(tái)

基片結(jié)構(gòu)

基片加熱與水冷獨(dú)立工作，取下加熱爐可以換上水冷基片臺(tái)

樣品尺寸

Ø30mm

運(yùn)動(dòng)方式

基片可連續(xù)回轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速 5~10 轉(zhuǎn)／分

加熱

基片加熱*高溫度600℃±1℃

基片負(fù)偏壓

－200V

氣路系統(tǒng)

質(zhì) 量 流 量 控制器 2 路

計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)

控制樣品轉(zhuǎn)動(dòng)，擋板開關(guān)，靶位確認(rèn)等

可選配件6工位基片加熱公轉(zhuǎn)臺(tái)

拆下單基片水冷加熱臺(tái)可以換上該轉(zhuǎn)臺(tái)。可同時(shí)放置6片30mm的基片；6個(gè)工位中，其中一個(gè)工位安裝加熱爐，其余工位為自然冷卻基片臺(tái)；基片加熱*高溫度600℃ ±1℃

設(shè)備占地面積

主機(jī)

I300×800mm2

電控柜

70×700m2

 


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