該產(chǎn)品是基本于 MEMS工藝技術(shù),采用硅―派勒克斯玻璃靜電鍵合形成的真空參考壓力腔 ,經(jīng)過一系列無應(yīng)力封裝及高精度補償技術(shù),從而使該產(chǎn)品,以穩(wěn)定性優(yōu)良、精度高等突出優(yōu)點面向市場,適用于各種工裝下壓力測量與控制。

詳細介紹

（1）不銹鋼結(jié)構(gòu)；

（2）MEMS 工藝技術(shù)制作敏感元件，采用真空充硅油隔離，不銹鋼波紋膜片過渡傳遞壓力；

（3）具有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性；

（4）適用于對316L 不銹鋼*的氣體、液體的壓力測量；

2、量程：0～50KPa……200MPa

3、供電方式：15～24VDC；

4、輸出信號：4～20mA 或0～5V（特殊要求可訂制）；

5、過載壓力：≧150%FS；

6、介質(zhì)溫度：－20～80℃；

7、補償溫度： 0～60℃；

8、貯存溫度范圍：－40～100℃；

關(guān)鍵詞：敏感元件

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