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閱讀：74發(fā)布時(shí)間：2025-12-27
在反應(yīng)室里，氣態(tài)反應(yīng)物經(jīng)化學(xué)反應(yīng)生成固態(tài)物質(zhì)并沉積在硅片表面的薄膜沉積技術(shù)，被稱為CVD（化學(xué)氣相沉積）。它有一個(gè)基本特征：CVD工藝中反應(yīng)物必須以氣相形式參與反應(yīng)，配置特氣柜的好處就體現(xiàn)在這上面。
氣體的傳送就需要用到供氣系統(tǒng)，而這些含薄膜組成原子氣體大多是特種氣體，具有一定的危險(xiǎn)性，如SiNx薄膜，常作為集成電路最后的鈍化保護(hù)層，提高集成電路的可靠性，所以，需要采用特氣系統(tǒng)，配置特氣柜。
CVD配置特氣柜的好處：
1. 特種氣體在沃飛WOFIY全自動特氣柜(GC)中，使用前會經(jīng)過多次自動吹掃，避免被氣體雜質(zhì)污染，保證氣體原材料的純度；
2. 沃飛WOFIY全自動特氣柜（GC）以PLC為控制主體，配合觸摸屏進(jìn)行系統(tǒng)顯示和設(shè)定，可自動切換供氣，保持連續(xù)穩(wěn)定高純度氣體輸送，保證實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)正常進(jìn)行；
3. 沃飛WOFIY全自動特氣柜（GC）的柜體板材厚度不低于2.5mm，有防腐蝕涂層，在柜門關(guān)閉時(shí)，氣瓶柜內(nèi)部是處于負(fù)壓狀態(tài)，柜內(nèi)的排風(fēng)換氣的頻率不低于300次/H，報(bào)警偵測警報(bào)功能齊全，在緊急情況下會自動安全切斷（當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號被觸發(fā)時(shí)），保障生產(chǎn)安全和人員安全。
以上，便是CVD（化學(xué)氣相沉積）配置特氣柜的一些好處的簡單介紹，更多氣體應(yīng)用資訊，請關(guān)注沃飛，感謝您的閱讀！
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