詳細(xì)摘要: Scrubber尾氣處理裝置可處理氣體種類包括半導(dǎo)體、液晶以及太陽(yáng)能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B...
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產(chǎn)品型號(hào):所在地:深圳市更新時(shí)間:2025-11-13 在線留言詳細(xì)摘要: 深圳沃飛科技有限公司專業(yè)研發(fā)設(shè)計(jì)制造高純工藝氣體系統(tǒng)電子特氣工藝尾氣處理設(shè)備local scrubberWFS-100F吸附式local scrubber 尾氣...
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產(chǎn)品型號(hào):所在地:深圳市更新時(shí)間:2025-11-13 在線留言詳細(xì)摘要: 燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理氣體種類可處理氣體種類包括半導(dǎo)體、液晶以及太陽(yáng)能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣,主要包括SiH4、Si...
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