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MKS壓力計替換表

閱讀：3112發(fā)布時間：2014-12-16

MKS壓力計替換表

MKS 622/623/626系列壓力計

品牌	MKS	Inficon英?？?/span>
型號（系列）	622A623A626A 622B623B626B	CDG025D	CDG025D-X3 抗腐蝕
量程（Torr）	0.1,O.25,1,2,10, 20,100,500, 100OTorr可選	0.1,0.25,1,10 20,100,200，1000可選	0.1,0.25,1,2,5,10 20,50,100,200, 500,1000可選
精度	讀值±0.25%	讀值±2%	讀值±2%
法蘭接口	1/2管,8VCR,NW16 KF等	1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF	1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF
電源要求	± 15V直流	14-30自適應直流	14-30V 自適應直流

MKS 627系列45℃壓力計

品牌	MKS	Inficon英?？?/span>
型號（系列）	627B，627C，627D	CDG045D
量程（Torr）	0.02,0.05,0.1,O.25,1, 2,10,20,100,500, 100OTorr等可選	0.1,0.25,0.5,1,2,5,10 20,50,100,200, 500,1000可選
精度	讀值±0.12%	讀值±0.15%
法蘭接口	1/2管,8VCR,NW16 KF等	1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF
通訊接口	D型15腳接線端子	D-sub15腳插座型
電源要求	± 15V或±24VDC 直流	14-30自適應直流或± 15V

MKS 628系列100℃壓力計

品牌	MKS	Inficon英?？?/span>
型號（系列）	628B，628C，628D	CDG045D
量程（Torr）	0.05,0.1,O.25,1, 2,10,20,100,500, 100OTorr等可選	0.1,0.25,0.5,1,2,5,10 20,50,100,200, 500,1000可選
精度	讀值±0.25%	讀值±0.2%
法蘭接口	1/2管,8VCR,NW16 KF等	1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF
通訊接口	D型15腳接線端子	D-sub15腳插座型
電源要求	± 15V或±24VDC 直流	14-30自適應直流或± 15V

MKS 631系列高溫壓力計

品牌	MKS	Inficon英?？?/span>
型號（系列）	631C/631D(150℃或200℃)	CDG160D（160℃）	CDG200D（200℃）
量程（Torr）	1,2,10,100,1000可選	1,2,5,10 20,50,100,200，500,1000可選	1,2,5,10 20,50,100,200，500,1000可選
精度	讀值±5%	讀值±0.4%	讀值±0.4%
法蘭接口	1/2管,8VCR,NW16 KF等	1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF	1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF
電源要求	± 15V直流	21-30V自適應直流或±15VDC	21-30V 自適應直流或±15VDC

MKS 722系列小尺寸壓力計

品牌	MKS	Inficon英?？?/span>
型號（系列）	722A,722B	CDG020D
量程（Torr）	1,2,10,20,100,250,500, 100OTorr等可選	10,20,50,100,200, 500,1000可選
精度	讀值±0.5%	讀值±0.5%或1%
法蘭接口	1/2管,8VCR凹接頭,4VCR凹接頭,4VCR凸接頭,NW16 KF等	1/2管,8VCR凹接頭,4VCR凹接頭,4VCR凸接頭,NW16 KF,NW16 CF
通訊接口	D型9腳	D-sub 9腳插頭型
電源要求	± 13V或±32VDC 直流	13-30V直流

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