INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高溫真空計是用于高精度總壓強測量和控制的*選擇. CDG160D 和 CDG200D 真空計是在 160°C 至 200°C 下溫度控制的, 在要求高的半導(dǎo)體和等離子過程中具有的性能. 可供應(yīng)的真空計包括全量程范圍從 1 乇至1000 乇, 具有全部常用的法蘭型號和現(xiàn)場總線接口和提供線性 0 至 10伏, 與氣體類型無關(guān)的壓強訊號. INFICON 電容真空計采用抗腐蝕的超純氧化鋁陶瓷膜片. 陶瓷傳感器的優(yōu)勢是更好的訊號穩(wěn)定性, 快速地從大氣壓恢復(fù), 短的預(yù)熱時間和超長的使用壽命.INFICON CDGs 是高質(zhì)量, 高效益的壓強傳感器用于高要求的半導(dǎo)體,等離子和真空應(yīng)用.
瑞士Inficon英?？嫡婵沼?/span> CDG160D/CDG200D電容膜片式真空計
INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高溫真空計是用于高精度總壓強測量和控制的*選擇. CDG160D 和 CDG200D 真空計是在 160°C 至 200°C 下溫度控制的, 在要求高的半導(dǎo)體和等離子過程中具有的性能. 可供應(yīng)的真空計包括全量程范圍從 1 乇至1000 乇, 具有全部常用的法蘭型號和現(xiàn)場總線接口和提供線性 0 至 10伏, 與氣體類型無關(guān)的壓強訊號. INFICON 電容真空計采用抗腐蝕的超純氧化鋁陶瓷膜片. 陶瓷傳感器的優(yōu)勢是更好的訊號穩(wěn)定性, 快速地從大氣壓恢復(fù), 短的預(yù)熱時間和超長的使用壽命.INFICON CDGs 是高質(zhì)量, 高效益的壓強傳感器用于高要求的半導(dǎo)體,等離子和真空應(yīng)用.
瑞士Inficon英?？嫡婵沼?/span> CDG160D/CDG200D電容膜片式真空計優(yōu)勢：
擁有成本低, 預(yù)熱快 50%, 能效高,低功耗
易集成,規(guī)格齊全的全量程, 法蘭和接口, 標(biāo)準(zhǔn)型號有兩個設(shè)點
簡易的一鍵按鈕或運距訊號調(diào)零指令,零點偏移可調(diào)整
診斷口用于快速服務(wù)和維護
兩年保用期,帶有先進的加熱概念和真空計保護的長使用壽命
由于的訊號穩(wěn)定性和再現(xiàn)性,即使在嚴酷的等離子應(yīng)用中也無長期再校準(zhǔn)的需要
兼容性和標(biāo)準(zhǔn): CE, EN, UL, SEMI, RoHS
瑞士Inficon英福康真空計 CDG160D/CDG200D電容膜片式真空計應(yīng)用：
刻蝕, CVD, PVD 和其它半導(dǎo)體過程
化學(xué)和腐蝕性的高溫過程
一般薄膜和真空過程要求的真空計保護
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