MKS 1559型質量流量控制器是專為通用的質量流量控制應用的覆蓋范圍從20 SLM（42.5上下）200 SLM（425比1）。1559型的*的控制閥消除振蕩，并提供更好的響應時間相比其他流量控制器。這是可能通過使用一個“平衡力"閥門的設計，自動中和線壓力引起的內(nèi)部失衡控制閥。重要的操作因素包括快速熱身，快速響應時間和1%的評論精度（氮）。這些功能鍵在zui大限度地減少停機時間和保證正確的氣體流被送到你的過程，在正確的時間。1559型具有優(yōu)良的RFI保護，和有噪聲的安全保護功能在閥門關閉與小于0.2% F.S. MKS命令信號，還提供了一個兼容的完整，獨立的電源/讀出單元，包括類型246，247和647。
美國MKS質量流量控制器 MKS 1559A大流量質量流量控制器
MKS 1559型質量流量控制器是專為通用的質量流量 from 20 slm (42.5 cfh) to 200 slm (425 cfh).1 The控制應用的覆蓋范圍從20 SLM（42.5上下）200 SLM（425比1）。1559型的*的控制閥消除振蕩，并提供更好的響應時間相比其他流量控制器。這是可能通過使用一個“平衡力閥門的設計，自動中和線壓力引起的內(nèi)部失衡.控制閥。 1% F.S.重要的操作因素包括快速熱身，快速響應時間和1%的評論精度（氮）。這些功能鍵在zui大限度地減少停機時間和保證正確的氣體流被送到你的過程，在正確的時間。1559型具有優(yōu)良的RFI保護，和有噪聲的安全保護功能在閥門關閉與小于0.2% F.S. MKS命令信號，還提供了一個246,兼容的完整，獨立的電源/讀出單元，包括類型246，247 and 647.247和647。
美國MKS質量流量控制器 MKS 1559A大流量質量流量控制器優(yōu)勢：
全尺寸范圍從20到200的SLM （氮當量）為各種各樣的高流量的應用
• “Balanced force” valve design to minimize
•平衡力閥設計zui小化
oscillation due to line pressure
由于線的壓力振蕩
fluctuations
波動的
• Fast 30 minute warm-up time to minimize
•快30分鐘的熱身時間減少
expensive production downtime
昂貴的停機時間
• Fast 2 second settling time to achieve
•快2秒的時間來實現(xiàn)
desired flows quickly
所需的迅速流動
• Accepts an external pressure input signal
•接受外部壓力輸入信號
(0 - 10 VDC) to allow pressure control
（0 -10VDC）
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