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行業(yè)產(chǎn)品

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成都四洋科技有限公司


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Granville-Phillips真空質(zhì)量監(jiān)控儀

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)835VQM DPS

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地成都市

聯(lián)系方式：羅先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-09-18 08:12:22瀏覽次數(shù)：959次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：102條

所在地區(qū)：四川成都市

聯(lián)系人：羅先生 （銷售工程師）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

擴(kuò)展產(chǎn)品。其具有所有VQM的優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)，包括響應(yīng)速度快和使用便捷，可用于工藝監(jiān)測(cè)和工藝控制。
835分壓泵系統(tǒng)（DPS）提供了許多實(shí)時(shí)信息，可用來優(yōu)化PVD、離子注入、鍍膜以及其他真空制程，從而提高產(chǎn)能、改善效果并節(jié)約資金。

詳細(xì)介紹

Granville-Phillips 835VQM（真空質(zhì)量監(jiān)控儀）分壓泵系統(tǒng)

Granville-Phillips的分壓泵系統(tǒng)是獲獎(jiǎng)的高性能真空質(zhì)量監(jiān)控儀（VQMTM）的真空壓力范圍擴(kuò)展產(chǎn)品。其具有所有VQM的優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)，包括響應(yīng)速度快和使用便捷，可用于工藝監(jiān)測(cè)和工藝控制。

835分壓泵系統(tǒng)（DPS）提供了許多實(shí)時(shí)信息，可用來優(yōu)化PVD、離子注入、鍍膜以及其他真空制程，從而提高產(chǎn)能、改善效果并節(jié)約資金。

835VQM DPS典型應(yīng)用包括：

監(jiān)控反應(yīng)氣體

確定工藝初始狀態(tài)

檢測(cè)污染物

控制反應(yīng)氣體注入量

檢測(cè)泄漏

835VQM DPS產(chǎn)品特點(diǎn)：

工作壓力從3Torr到5x10-9Torr

在85毫秒內(nèi)完成質(zhì)量數(shù)從1到145的氣體分壓力測(cè)量；并可提供1到300質(zhì)量數(shù)范圍的測(cè)量

可提供所識(shí)別的*個(gè)zui高比例的氣體成分的即時(shí)信息包括趨勢(shì)圖

精確的氫氣和氦氣檢測(cè)（無低質(zhì)量數(shù)成分測(cè)量分壓超全壓現(xiàn)象）

85毫秒內(nèi)完成1到145質(zhì)量數(shù)全部樣本數(shù)據(jù)的記錄；120毫秒內(nèi)完成1到300質(zhì)量數(shù)全部樣本記錄

可利用真空系統(tǒng)內(nèi)已有氣體進(jìn)行單一氣體校準(zhǔn)

緊湊型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可靈活安裝

835VQM DPS標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)配置

整個(gè)835 DPS系統(tǒng)以下組件

835VQM分壓計(jì)

390802Micro-lon全壓計(jì)

帶孔板的節(jié)流閥

分子泵

粗抽泵帶喉管

內(nèi)部連接電纜線

VQM控制器

VQM瀏覽軟件

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn)

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