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MKS質量流量控制器四洋科技

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產品型號GE250A

品牌

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更新時間：2026-09-18 08:14:43瀏覽次數：1306次

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成都四洋科技有限公司

經營模式：代理商

商鋪產品：102條

所在地區(qū)：四川成都市

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產品簡介

MKS質量流量控制器[四洋科技] GE250A是通用的彈性密封的MFC，非常適用于大流量質量流量計或質量流量控制器的各種各樣要求，流量范圍從100-250slm，GE250A MFC設計有獲得MKS的熱傳感器技術與機械設計，有模擬與數字I/O的常用性通訊模式，利用了MKS控制算法，提供設定點的快速和可重復性的響應。GE250A精度為1%，精度控制為2%至滿量程，優(yōu)于很多典型質量流量控制器。

詳細介紹

MKS GE250A質量流量控制器

MKS GE250A是通用的彈性密封的MFC，非常適用于大流量質量流量計或質量流量控制器的各種各樣要求，流量范圍從100-250slm，GE250A MFC設計有獲得MKS的熱傳感器技術與機械設計，有模擬與數字I/O的常用性通訊模式，利用了MKS控制算法，提供設定點的快速和可重復性的響應。GE250A精度為1%，精度控制為2%至滿量程，優(yōu)于很多典型質量流量控制器。

MKS GE250A特點：

快速響應的設定點保證流量的穩(wěn)定性

嚴格控制的工藝氣體流量精度可以改進工藝的匹配

降低了進氣壓力（壓差）的要求，簡化了天然氣的供應調控

新的設計降低了整體成本

在很寬的量程范圍有精確的流量控制，減少了一個額外的低范圍的MFC

設計上很易于集成與操作

通過標準的以太網接口的設備配置和診斷簡單。

使用標準的Web瀏覽器不需要任何特殊的軟件

CE認證與RoHS要求

MKS GE250A的技術參數

量程范圍：100-250slm

zui大進氣口壓力：150pisa

正常工作壓差：30-55左右（大氣壓力在出口）

控制范圍：2%至

精度：讀數的20%到 ±1%

5%到20% ±0.25%

重復性：讀數0.5%

工作的環(huán)境溫度：10-50℃

MKS GE250A的訂購資料：

例：型號GE250A013255TBV0010	采購序列號
大流量質量流量控制器	GE250A
校準氣體
氦氣He	001
氬氣Ar	004
氫氣H2	007
氮氣N2	013
氧氣O2	015
其他氣體	可選
校準流量SLM
250slm	255
裝配件
8 VCR	T
8 VCO	D
1/2 tube管	S
1/2NPT	M
電氣/通訊連接器
模擬15針D型（I/O 0-5VDC）	B
15針D型（4-20mA）	H
密封
Viton	V
Neoprene	N
Buna N	B
EPDM	E
MKS
標準	00
軟件版本
MKS會安裝出廠日期版本	10