高純氣體流量計(jì)｜潔凈氣體管道計(jì)量儀表 - 多欽儀表 

多欽儀表高純氣體流量計(jì)，介質(zhì)接觸部位采用 316L 不銹鋼可選內(nèi)壁拋光，適配高純氮?dú)?、高純氬氣、高純氦氣等潔凈氣體，微小吹掃到大流量總管均可測量，支持信號遠(yuǎn)傳，潔凈管路卡箍連接可選。

產(chǎn)品概述 

多欽儀表高純氣體 流量計(jì)，面向半導(dǎo)體、光伏、制藥、特種材料行業(yè)潔凈氣體輸送管線開發(fā)，用于高純氣體瞬時(shí)流量監(jiān)測與累積用量計(jì)量。

儀表接觸氣體部位選用 316L 不銹鋼為主，可按需做內(nèi)壁拋光處理，降低氣體吸附，避免介質(zhì)污染。

產(chǎn)品以熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)為核心，搭配金屬管浮子流量計(jì)，覆蓋微小吹掃流量到大管徑總管供氣場景，儀表自帶液晶顯示模塊，支持信號遠(yuǎn)傳對接控制系統(tǒng)，滿足高潔凈工況計(jì)量要求。

工作原理 

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)采用熱擴(kuò)散傳感原理，直接測量氣體質(zhì)量流量，無需額外溫壓補(bǔ)償，低流速工況測量穩(wěn)定，適合高純氣體小流量吹掃、保護(hù)氣計(jì)量。 

不銹鋼金屬管浮子流量計(jì)依靠浮子受力平衡原理，實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場就地流量顯示，結(jié)構(gòu)簡潔，適合僅需要現(xiàn)場讀取流量的高純氣體管路。

產(chǎn)品特點(diǎn) 

介質(zhì)接觸件選用 316L 不銹鋼，可選內(nèi)壁拋光工藝，減少介質(zhì)吸附殘留，保障管路潔凈度。 

直接質(zhì)量流量測量型號，受溫度壓力波動(dòng)影響小，測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定。

 多種信號輸出可選，4-20mA、RS485-Modbus、脈沖信號，方便遠(yuǎn)程采集流量數(shù)據(jù)。 

防爆版本可選，ExdⅡBT4 防爆等級，適配化工、鋰電防爆潔凈車間。 

量程區(qū)間寬，微小流量吹掃和主管路大流量高純氣體輸送都可匹配選型。 

無機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)部件款式，運(yùn)行磨損低，日常維護(hù)工作量小。 

多種連接方式，潔凈管路優(yōu)先卡箍快裝結(jié)構(gòu)，螺紋、法蘭連接按需選擇。

材質(zhì)與選型說明 

常規(guī)高純氣體工況推薦 316L 不銹鋼，高潔凈要求場景增加內(nèi)壁拋光處理。

 DN4-DN50 小口徑潔凈管道，半導(dǎo)體、光伏設(shè)備吹掃保護(hù)氣，優(yōu)先拋光款管段式熱式質(zhì)量流量計(jì)。 

DN50 以上大口徑高純氣體總管，選用插入式熱式質(zhì)量流量計(jì)，降低管道改造費(fèi)用。

 只需要現(xiàn)場就地讀數(shù)，無遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)采集需求，選用不銹鋼金屬管浮子流量計(jì)。

技術(shù)參數(shù) 

測量介質(zhì)：高純氮?dú)?、高純氬氣、高純氦氣等各類潔凈惰性氣體 

公稱口徑：DN4～DN4000 

精度等級：±1.0% FS~±1.5% FS 

介質(zhì)溫度：-40℃～200℃ 

工作壓力：PN16，高壓版本支持定制 

供電電源：DC24V，部分型號支持 AC220V 供電 

防護(hù)等級：IP65 

顯示功能：液晶顯示屏，顯示瞬時(shí)流量、累積流量 

連接方式：卡箍快裝，螺紋連接，法蘭連接，插入球閥底座

應(yīng)用場景 

半導(dǎo)體晶圓制程高純氣體吹掃保護(hù)計(jì)量。 

光伏電池生產(chǎn)高純氮、高純氬輸送管路流量監(jiān)測。 

制藥潔凈車間高純惰性氣體用量統(tǒng)計(jì)。 

實(shí)驗(yàn)室各類高純氣體供氣管道流量采集。 

特種材料熱處理高純保護(hù)氣流量監(jiān)控。

FAQ 

問題 1，更換測量高純氣體種類，儀表需要重新標(biāo)定嗎。 

回答，熱式質(zhì)量流量計(jì)氣體介質(zhì)更換后，需要重新標(biāo)定參數(shù)，保證測量精度。金屬管浮子流量計(jì)需要按照新介質(zhì)參數(shù)修正讀數(shù)。

問題 2，潔凈管路安裝高純氣體 流量計(jì)，優(yōu)先選哪種連接。 

回答，高純潔凈管路優(yōu)先選用卡箍快裝連接，拆裝方便，管路死角少，便于管路清潔。

問題 3，內(nèi)壁拋光對于高純氣體計(jì)量有什么作用。 

回答，內(nèi)壁拋光可以減少氣體吸附，降低介質(zhì)殘留，維持管路潔凈等級，適配半導(dǎo)體、醫(yī)藥等高潔凈要求工況。