含氟氣體流量計(jì)｜耐腐蝕氟氣介質(zhì)流量測(cè)量?jī)x表 - 多欽儀表

多欽儀表含氟氣體流量計(jì)，接觸介質(zhì)部件選用哈氏合金、蒙乃爾、PTFE 等耐氟防腐材質(zhì)，適配四氟化碳、氟化qing等含氟氣體 流量計(jì)量，支持 RS485 通訊，防爆可選，用于半導(dǎo)體、化工含氟工藝管道監(jiān)測(cè)。

產(chǎn)品概述

 多欽儀表含氟氣體 流量計(jì)，針對(duì)含氟類(lèi)腐蝕性氣體介質(zhì)研發(fā)，適配四氟化碳、氟化qing、六氟化鎢等工藝氣體。介質(zhì)接觸部分采用耐氟特種合金或氟塑料內(nèi)襯，抵御含氟介質(zhì)腐蝕，保障儀表長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

儀表類(lèi)型包含熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)、渦街流量計(jì)，可根據(jù)介質(zhì)腐蝕程度、管徑大小選型，具備就地液晶顯示功能，支持 4-20mA、RS485-Modbus 信號(hào)輸出，可接入 PLC、DCS 系統(tǒng)完成流量數(shù)據(jù)采集與累積計(jì)量，多用于半導(dǎo)體刻蝕、精細(xì)化工含氟工藝管線。

工作原理 

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)采用熱擴(kuò)散傳感原理，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，無(wú)需額外溫壓補(bǔ)償，低流速下測(cè)量穩(wěn)定，適合小流量含氟工藝氣體計(jì)量。 

渦街流量計(jì)基于卡門(mén)渦街原理，檢測(cè)旋渦頻率換算工況體積流量，可選配一體化溫壓補(bǔ)償模塊，自動(dòng)換算標(biāo)況流量，適配中等管徑、流量穩(wěn)定的含氟氣體管道。

產(chǎn)品特點(diǎn) 

介質(zhì)接觸件選用哈氏合金、蒙乃爾合金、PTFE 內(nèi)襯等耐氟防腐材料，抵抗含氟氣體腐蝕。 

支持?jǐn)?shù)字通訊與模擬量雙信號(hào)輸出，RS485-Modbus 可實(shí)現(xiàn)多臺(tái)儀表總線組網(wǎng)。 

可選一體化溫壓補(bǔ)償模塊，修正氣體溫度壓力波動(dòng)帶來(lái)的測(cè)量誤差。 

防爆版本可選，ExdⅡBT4 防爆等級(jí)，匹配化工、半導(dǎo)體防爆工藝區(qū)域。 

無(wú)機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)部件，運(yùn)行磨損小，減少介質(zhì)腐蝕帶來(lái)的部件損壞風(fēng)險(xiǎn)。 

液晶就地顯示，可查看瞬時(shí)流量、累積流量、溫度壓力參數(shù)。 

多種連接方式，法蘭、卡箍可選，可根據(jù)工藝潔凈等級(jí)定制。

材質(zhì)與選型說(shuō)明 

強(qiáng)腐蝕含氟氣體工況，優(yōu)先選用哈氏合金或蒙乃爾合金傳感探頭。 

弱腐蝕含氟氣體，可選用 PTFE 內(nèi)襯結(jié)構(gòu)。

 DN4-DN50 小口徑工藝管線，半導(dǎo)體刻蝕微量含氟氣體，優(yōu)先熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)。 

DN15-DN300 中等管徑，流量穩(wěn)定的含氟氣體主管，選用防腐型渦街流量計(jì)搭配溫壓補(bǔ)償。 

介質(zhì)含粉塵顆粒的工況，選型時(shí)增加前置過(guò)濾保護(hù)裝置。

技術(shù)參數(shù) 

測(cè)量介質(zhì)：四氟化碳，氟化qing，六氟化鎢等各類(lèi)含氟腐蝕性氣體 

公稱(chēng)口徑：DN4～DN300

 精度等級(jí)：±1.0% FS~±1.5% FS 

介質(zhì)溫度：-40℃～200℃ 

工作壓力：PN16，高壓版本支持定制 

供電電源：DC24V 

通訊方式：RS485 Modbus-RTU，可選 4-20mA 輸出 

防護(hù)等級(jí)：IP65顯示功能：液晶顯示屏，瞬時(shí)流量，累積流量，溫度壓力 

連接方式：法蘭連接，卡箍快裝

應(yīng)用場(chǎng)景 

半導(dǎo)體制造刻蝕工藝含氟氣體流量監(jiān)測(cè)。 

精細(xì)化工氟化工藝管道氣體計(jì)量。 

特種材料表面處理含氟工藝氣用量統(tǒng)計(jì)。

 實(shí)驗(yàn)室含氟氣體供氣管路流量采集。 

尾氣處理前端含氟工藝氣體流量檢測(cè)。

FAQ 

問(wèn)題 1，含氟氣體 流量計(jì)能不能用普通不銹鋼材質(zhì)。 

回答，普通 304/316L 不銹鋼不耐含氟氣體腐蝕，介質(zhì)接觸部位必須選用哈氏合金、蒙乃爾或 PTFE 防腐材質(zhì)，否則傳感器會(huì)快速損壞。

問(wèn)題 2，含氟氣體介質(zhì)壓力波動(dòng)大，選哪類(lèi)儀表。

 回答，推薦熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)，直接測(cè)量質(zhì)量流量，壓力波動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果影響較小。

問(wèn)題 3，含氟氣體含有固體微粒，怎么保護(hù)流量計(jì)。 

回答，建議在流量計(jì)上游管路加裝耐腐蝕過(guò)濾器，過(guò)濾固體雜質(zhì)，防止雜質(zhì)沖刷、損傷傳感器。