上海自動化儀表股份有限公司
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閱讀：262發(fā)布時間：2022-1-16
精確的質(zhì)量流量控制改善真空鍍膜*功能
自儀的MCE和平均紅細(xì)胞容積（MCV）系列系列是直接更換普通工業(yè)質(zhì)量流量控制器
自儀質(zhì)量流量控制器在一個真空的環(huán)境，確保的涂料在涂料室，保持產(chǎn)品的完整性和濺射工藝。心肌聲學(xué)造影（MCE）和平均紅細(xì)胞容積（MCV）的系列，這個系列可以用來取代傳統(tǒng)的和discontinued萬機(jī)儀器。擬合相同的制造業(yè)質(zhì)量流量控制器的公共空間，這兩個系列是易于融入現(xiàn)有的系統(tǒng)。在使用，他們提供快速，準(zhǔn)確的流動性和質(zhì)量控制過程。
該自儀MCE和MCV精確控制氣體流量低至0.6 SCCM全面或0-40 SLPM滿刻度60到110毫秒的響應(yīng)時間，高控制?？焖夙憫?yīng)時間可以大大改善真空鍍膜最終產(chǎn)品，有助于消除目標(biāo)中毒。綜合氣動切斷閥是常閉，可切斷2×20-10 ATM SCCM /秒氦。
MCE可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)型MKS 1179a質(zhì)量流量，而MCV代替終止式MKS 2179a質(zhì)量流量。自儀質(zhì)量流量控制器運(yùn)行在通用的24伏直流電供應(yīng)，將匹配任何預(yù)先存在的針在針或20針D-sub連接器，方便更換。這個裝置可以安裝在任何方向，甚至顛倒了，沒有調(diào)整，進(jìn)一步簡化裝置。
預(yù)編程的89種氣體校準(zhǔn)，體積流量的MCE和MCV測量質(zhì)量流量，壓力和溫度，全溫壓補(bǔ)償。單元可以通過儀表鍵盤直接編程，也可以通過RS-232遠(yuǎn)程（也可用RS-485）編程。
MCE和MCV使用層流差壓（DP）技術(shù)在許多自儀科學(xué)流量儀表，提供NIST認(rèn)證，并帶有CE標(biāo)志。
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