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MSP500 顯微分光光度計

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更新時間：2026-09-18 10:26:31瀏覽次數(shù)：621次

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產品簡介

針對微小區(qū)域測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)

詳細介紹

基本功能	1，針對微小區(qū)域測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù) 2，實現(xiàn)薄膜均勻性檢測 3，寬光譜范圍同時有效滿足材料分析、探測等應用
產品特點	l *的數(shù)據(jù)運算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫； l 簡便、易行的可視化測試界面，可根據(jù)用戶需求設置不同的參數(shù)； l 實現(xiàn)微小區(qū)域薄膜分析研究； l 快捷、準確、穩(wěn)定的參數(shù)測試； l 支持多功能配件集成以及定制； l 支持不同水平的用戶控制模式； l 支持多功能模擬計算等等。
系統(tǒng)配置	型號：MSP500RTMF 雙探測器系統(tǒng)：2048像素的CCD陣列用于UV-Vis，InGaAs陣列用于NIR 光源：高功率的DUV和可見光光源自動的臺架平臺：特殊處理的鋁合金操作平臺，手動調節(jié)移動范圍為100mm×75mm 焦距：螺桿控制的自動調焦物鏡有著長焦點距離:4×、10×、15× 、50×(包括一個DUV物鏡)通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連軟件：帶有全自動成像功能和2D/3D圖形輸出的TFProbe 2.2VM版本的軟件。測量類型：反射/透射光譜、薄膜厚度/反射光譜和特性尺寸計算機硬件：英特兒酷睿2雙核處理器，19"LCD顯示器電源：110–240V AC/50-60Hz，3A 尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面設置) 重量：120磅總重保修：一年的整機及零備件保修
規(guī)格	波長范圍：250nm到1700 nm 波長分辨率: 1nm 光斑尺寸：100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x) 基片尺寸：zui多可至20mm 測量厚度范圍: 20? 到25 μm 測量時間：zui快2毫秒精確度：優(yōu)于0.5％（通過使用相同的光學常數(shù)，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較）重復性誤差：小于2 ?
可選配件項	l 波長可擴展到遠DUV或者長NIR范圍(～2500nm） l 可根據(jù)客戶的特殊需求來定制 l 在動態(tài)實驗研究時，可根據(jù)需要對平臺進行加熱或致冷 l 可選擇的平臺尺寸zui多可測量300mm大小尺寸的樣品 l 更高的波長范圍的分辨率可低至0.1nm l 各種濾光片可供各種特殊的需求 l 可添加應用于熒光測量的附件 l 可添加用于拉曼應用的附件 l 可添加用于偏光應用的附件
應用領域	主要應用于透光薄膜分析類領域： l 玻璃鍍膜領域（LowE、太陽能…） l 半導體制造（PR，Oxide, Nitride…) l 液晶顯示（ITO，PR，Cell gap...） l 光學涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. l 半導體化合物 l 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜 l 非晶體，納米材料和結晶硅