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行業(yè)產(chǎn)品

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北京燕京電子有限公司


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原子力顯微鏡AFM

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式:趙先生查看聯(lián)系方式

更新時間:2026-09-18 10:37:13瀏覽次數(shù):976次

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經(jīng)營模式:代理商

商鋪產(chǎn)品:30條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:趙先生 (市場部)

產(chǎn)品簡介

A100-AFM裝備了閉環(huán)樣品定位系統(tǒng)。它保證了定位的精度在10納米(這比市場上的閉環(huán)原子力顯微鏡的性能好10倍)。這些突出的特性,再配以APE研究的*的軟件工具,使得這款儀器適用于納米光刻。

詳細(xì)介紹

A100-AFM裝備了閉環(huán)樣品定位系統(tǒng)。

它保證了定位的精度在10納米(這比市場上的閉環(huán)原子力顯微鏡的性能好10倍)。

這些突出的特性,再配以APE研究的*的軟件工具,使得這款儀器適用于納米光刻。

A100-AFM SGS 配備了彎曲掃描鏡臺,這保證了高平面度使得用戶可以進(jìn)行大范圍的測量(可以達(dá)到100微米)。

APE研發(fā)了原子力顯微鏡的附加工具,這可以用于一些具體的測量模式(如EFM(靜電力顯微鏡),MFM(磁力顯微鏡),Liquid cell(液體池))

我們還和意大利研究院合作研發(fā)其他工具以滿足用戶可能提出的要求。

A100-SGS AFM

A100-SGS SPM(掃描探針顯微鏡) 鏡臺

掃描鏡臺具有包含張力測量傳感器的獨立定位系統(tǒng)

掃描器技術(shù)資料:

X-Y掃描范圍:

100*100微米(高電壓模式);

10*10微米(低電壓模式)

高電壓模式分辨率:閉環(huán):2nm,開環(huán):0.2nm

閉環(huán)線性度:0.1%

Z掃描范圍:10微米(高電壓模式);

1微米(低電壓模式);

分辨率:0.16納米(高電壓模式),

0.02納米(低電壓模式)。


AFM Head 適用于接觸模式,非接觸模式,半接觸模式和橫向力模式

AFM Head 具有工業(yè)級的懸臂支架保持器,該保持器可以移動(很容易在懸臂上安裝和拆卸),也很容易固定在懸臂上。頭部還具有裝備了激光和光電二極管傳感器的前置放大器。


SPMCU2-PI

SPM 控制單元

SPM控制單元和計算機(配別有多輸入輸出主板)驅(qū)動掃描器,數(shù)據(jù)采集和采樣運動

采樣距離的末端由超低噪聲的模擬反饋控制,該模擬反饋由計算機數(shù)字化驅(qū)動。

該系統(tǒng)的硬件時鐘是高速的和高精度的


HVA3-PI Unit

高電壓放大器

HAV是一種高電壓放大器模塊可以驅(qū)動A-100 SGS 掃描鏡臺


計算機和數(shù)據(jù)采集板

WindowsXP、Vista 操作系統(tǒng);奔騰處理器或酷睿2,1G/2GDDR2 SDRAM內(nèi)存,160G硬盤,DVD光驅(qū),鍵盤和鼠標(biāo),19寸液晶顯示器,采集板和接口。


采集軟件

軟件運行是基于窗口的,為了儀器控制和數(shù)據(jù)采集,還支持多窗口操作。軟件具有簡易的濾波器可以實時分析并獲取圖像。軟件控制了儀器的所有參數(shù)。

APE研究的儀器裝備了圖像測量數(shù)據(jù)分析軟件的基本模塊,另外14項可選的功能也可以獨立的獲得。

輔助

光刻工具

隧道掃描顯微鏡工具

MFM(磁力顯微鏡)工具

EFM(電場力顯微鏡)工具

CAFM(導(dǎo)電原子力顯微鏡)工具

液體池

隔音箱

桌臺

其他可用的模塊


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